中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300194 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420は、ハイテク電子機器の製造に使用される高度なエッチングおよびアッシングツールです。このツールは、絶縁層などの材料の薄い層を適用して、パターン化されたマスクや他の構造を作成します。レインボー4420エッチングとアッシャーは、優れた再現性と均一性を備えた超薄層のための高精度エッチングとアッシングを提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4420には、厳格なバッフルと真空ポンプを含む最先端のソースチャンバーが装備されており、非常にクリーンで粒子のない環境を提供します。高いスループットと低コストの動作を確保するために、システムには急速な熱処理のための統合された抵抗ヒーターが装備されています。レインボー4420には、アルゴン、酸素、窒素などのガスが混ざったガスキャビネットも含まれています。このガスキャビネットは完全に自動化され、エッチング条件の完全な制御を提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、シーケンシャルエッチングとアッシャー、または同時エッチングとアッシャーの2つのモードで動作します。シーケンシャルモードでは、ウェーハがシステムにロードされ、最初のエッチングが実行されます。並列モードでは、ウェーハは同時にエッチングとアッシングにさらされます。このモードは、層間分離、選択性、ドーピング、保護層などのアプリケーションに最適です。Rainbow 4420には、簡単なプログラミングと監視のためのユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が含まれています。GUIには関連するすべてのパラメータが表示され、オペレータは必要に応じてそれらを調整して結果を最適化し、プロセスの再現性を向上させることができます。LAM RESEARCH Rainbow 4420エッチングとアッシャーは、温度と圧力の制御を組み合わせ、正確で正確なエッチングとアッシングを可能にします。Rainbow 4420は、多くのタイプの半導体および電子デバイスに理想的なエッチングおよびアッシングツールであり、優れた再現性、均一性、および低コストの動作を含む幅広い利点を提供します。シーケンシャルモードでもコンカレントモードでも、LAM RESEARCH Rainbow 4420ツールは、エッチングとアッシングで優れた結果を得るための優れた選択肢です。