中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9300193 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420は、半導体プロセス技術で使用されるエッチャー/アッシャーです。ウエハ加工の前面と背面に適しており、ポリシリコンや金属エッチング、平面化プロセスのエッチングやアッシングなど、多くの用途に使用できます。4420は、長い処理期間にわたって高い均一性、均等性、およびスループットを提供するように設計されています。4420は、プラズマベースのエッチングおよびアッシング技術を利用して、ターゲット基板の表面を化学的にエッチングする非接触ツールです。このツールのデュアルチャンバー設計により、基板のクロス汚染を排除します。4420は、熱間掘削およびアニーリングプロセスが可能で、直径125 mmまでの基板を処理できます。4420には特許取得済みの高速プラズマタンクt/dスイッチもあり、ユーザーはプラズマエッチングからドライエッチングに素早く切り替えることができます。4420は、一貫した反復可能な結果を可能にする多くの先進的なプロセス技術を備えています。ミディアムからハイパワーエッチングのための高度なチューニングと、低速、低消費電力のエッチングのためのデジタルチューニングを提供します。さらに、4420には完全に統合された16ゾーンマトリックスがあり、ユーザーは特定のアプリケーションのニーズに応じてプロセスを調整することができます。4420はLAM RESEARCHの広範な研究開発に支えられているため、その全体的な設計は信頼性が高く安定しています。過酷な環境下でも長時間連続走行が可能で、大量生産プロセスに最適です。このツールは、損傷から敏感な基板を保護するためのさまざまな保護メカニズムを備えています。さらに、多数の監視およびプロセス制御システムと互換性があり、高度なトレーサビリティとフィードバックを提供します。要約すると、Rainbow 4420は高度で信頼性の高いエッチャー/アッシャーであり、さまざまな高度なプロセスアプリケーションに適しています。マルチゾーンマトリックスとプロセスチューニング機能により、一貫した再現性のある結果が得られ、設計機能により高い均一性とスループットが保証されます。複数の保護機能を備えたLAM RESEARCH Rainbow 4420は、あらゆる半導体アプリケーションにとって明白な選択肢です。