中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9242186 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420は、高度な半導体デバイス製造用に設計されたエッチング/アッシュプロセスツールです。このツールはRainbowファミリのプラットフォームに基づいています。このプラットフォームは高度に構成可能で、今日の進化し続けるデバイス製造ニーズに対応する拡張性があります。Rainbow 4420は、Rainbowファミリの最高のスループットと最低限の所有コストを提供し、大量のウェハレベルのアプリケーションに最適なソリューションです。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、エッチング/灰、ストリップ、両面エッチングなど、さまざまなプロセス機能を提供します。複数のプロセスチャンバーと幅広い基板・カソードに対応し、柔軟で精密な加工が可能です。統合されたCHA技術は非常に高い歩留まりの結果を可能にしますが、3D補正機能は非均一性を低減し、レシピのパフォーマンスを向上させます。Rainbow 4420はプログラム可能なウェーハ配置制御も備えており、レシピ全体にわたって正確なウェーハモーション制御を提供します。このツールは、高度なプロセス制御と監視を備えており、最も要求の厳しいアプリケーションでも、正確なエンドポイント検出と調整を可能にします。このツールのコアモジュールはSuper Fabコントローラで、最大8つのプロセスチャンバーを同時に管理することができます。Super Fabはまた、最適な性能を保証するために統合された校正システムを提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、デバイス層を迅速かつ低コストで生産できるように設計されています。SEMI SECS/GEM規格に完全準拠しており、99。9％のアップタイム可用性を備えています。このツールには、電源負荷、ダミーウエハー、スパッタモジュールなど、追加のアクセサリの幅広いオプションもあります。また、YieldFlexソフトウェアスイートとも互換性があり、歩留まり最適化オプションを強化しています。Rainbow 4420は信頼性が高く効率的なツールで、優れた性能と信頼性を提供します。優れた柔軟性と信頼性により、このツールは多くのデバイス製造アプリケーションに最適です。