中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9226295 を販売中
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ID: 9226295
ウェーハサイズ: 5"
ヴィンテージ: 1990
Etcher, 5"
Wafer type: Major flat
Clamp
Temperature control unit: CS15W Chiller
Hardware:
Cassette indexer: Hine indexer 38A
Process kits
Baratron: MILLIPORE 0-10 Torr
RF Rack: ENI OEM-650A XL
RF Matcher
Helium cool system
EDP
(8) MFC Gases:
HE / 500 SCCM / FC-770AC
CL2 / 200 SCCM / FC-780C
HBR / 200 SCCM / FC-780C
CF4 / 200 SCCM / FC-770AC
SF6 / 200 SCCM / FC-770AC
CHF3 / 50 SCCM / FC-770AC
O2 / 10 SCCM / FC-770AC
O2 / 200 SCCM / FC-770AC
Vacuum system:
Loadlock: EDWARDS QDP80
P/C: EDWARDS QDP80 / QMB250
Signal tower
AC Power rack
1990 vintage.
LAM RESEARCH Rainbow 4420は、幅広い材料のエッチングおよびアッシング操作用に設計された高性能エッチャーおよびアッシャーです。効率的な真空チャンバ、高スループット、高度なプロセス監視および制御機能を備えています。Rainbow 4420は使いやすい機器で、設置面積が小さく、堅牢な構造、ユーザーフレンドリーなインターフェースを誇っています。その真空機構は1 Torrの業界標準に達します。その蒸発源は、高温に達するように設計されており、基板の低抵抗で高いスループットを提供します。チャンバーは、機器の上部にある温度調節器によって、下部から上部まで一定の温度に保たれます。効率と機能に加えて、LAM RESEARCH Rainbow 4420は高性能なプロセス監視および制御システムを備えています。このユニットは、処理中にリアルタイムの情報を提供することができ、高品質の結果と再現性のあるプロセスを保証します。Rainbow 4420は、機械とユーザーを保護するための高度な安全機構を備えており、静電気放電を防ぐためのツールが含まれています。このツールは、極端な温度や腐食性ガスにも耐性があり、信頼性と寿命を提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、ドライエッチングと蒸着、原子層蒸着(ALD)および化学蒸着(CVD)に使用できます。エッチング工程を通じて、層の厚さやその他のパラメータを正確に制御できます。チャンバーは8インチ以上の基板にも対応可能です。最終的に、Rainbow 4420は、正確で再現性のあるエッチングとアッシングプロセスのための汎用性と信頼性の高いマシンです。その高度な機能、正確な制御、安全性の利点により、このマシンは産業界や科学界にとって理想的な選択肢となります。
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