中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9195092 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420 Etcher/Asherは、エッチングと灰の薄膜に開発された先進的な製造装置です。プロセスチャンバー、コントローラユニット、レジストチャンバーで構成されています。プロセスチャンバーはPVC （Polyvinyl Chorephtalate）製で、2つの静電パッドとプラズマ電源が含まれています。静電気パッドは、エッチング/アッシングプロセス中に均一で安定した条件下でフィルムを維持する責任があります。プラズマ電源は、薄膜をエッチングして灰にするために使用されます。コントローラユニットはGUIによって制御され、機械とオペレータ間の通信を提供します。コントローラーユニットを使用すると、温度と圧力設定を調整してエッチング/アッシングプロセスを最適化し、操作を合理化することができます。レインボー4420は、反応性イオンエッチングとイオン支援灰の技術を利用して、極めて薄いフィルムをエッチングおよび灰にします。薄膜は反応性プラズマにさらされ、材料結合の解離と薄膜のエッチングまたはアッシングを可能にします。反応プラズマは、電源システムの端にあるプラズマツールによって生成されます。このチャンバーは低圧と高温で機能し、基板全体に均一な薄膜エッチングとアッシングを可能にします。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、1つのプロセスチャンバーでエッチングとアッシングの両方の操作を実行できるため、非常に効率的です。また、温度制御システムとプロセスチャンバー冷却システムを搭載し、再現性の高い高精度加工を実現しています。さらに、Rainbow 4420は、運用コストを削減し、スループット率を向上させるように設計されています。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、高精度の操作により、薄膜のエッチングとアッシングに最適なツールです。