中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9176776 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420エッチャー/アッシャーは、集積回路（IC）マイクロストラクチャーを高速かつ高精度に生産するために設計された、高度で完全に自動化されたエッチングおよびアッシング装置です。このシステムは、優れた材料除去率（MRR）、面粗さ（Ra）、スレッショルド電圧（Vth）制御精度で、複雑な微細な機能をエッチングおよびアッシングするプロセスを合理化するように設計されています。Rainbow 4420には4軸SCARAロボットが搭載されており、プロセス全体の有効性を最大限に高め、幅広いアプリケーション要件に対応します。また、ロボット機能を管理する高精度モーションコントロールマシンを搭載し、優れたエッチングと灰の均一性を実現しています。さらに、このツールにはLAM RESEARCH Automated Intelligent Process Control （IPC）ソフトウェアが搭載されており、高性能で自動化されたプロセス制御と継続的な監視を提供し、製品の品質を保証します。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、圧力、速度、温度、プロセスガス操作などの高度なエッチングおよびアッシュ制御機能を備えており、プロセス制御を向上させます。これには、超深度ミクロンレベルのフィーチャー定義のための高温プロセスのガス温度（550°C以上）および高エッチング速度（>5,000°/分）を制御する機能が含まれます。フルウェーハプロセスゾーンは、最大12インチのポケット直径までエッチングまたはアッシュでき、1つのモジュールで最大8つのエッチポケットをサポートします。高度な機能に加えて、Rainbow 4420アセットは費用対効果が高く、メンテナンスも簡単です。その統合されたウェットクリーニングモデルは、化学的使用量を節約し、廃棄物を削減し、生産性を向上させます。直感的なLCDタッチスクリーンインターフェイスは、ユーザーの相互作用を簡素化し、化学的メンテナンスとエラーメッセージへの容易なアクセスを提供します。つまり、ユーザーはマシンのメンテナンスに情報を提供し、アクティブになります。LAM RESEARCH Rainbow 4420エッチャー/アッシャーは、化学薬品や工具のメンテナンスコストを最小限に抑えながら、エッチングと灰の性能を最大化したいICプロセスエンジニアに最適な機器です。高度なプロセス制御と高精度のエッチングと灰の均一性を備えたRainbow 4420は、あらゆるチップスケールの生産環境に必須のシステムです。