中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #9169587 を販売中

ID: 9169587
ウェーハサイズ: 8"
Plasma etcher, 8" Currently crated.
LAM RESEARCH Rainbow 4420は、高度な技術により、精密で信頼性の高いエッチングとアッシングプロセスを一貫して提供できる高品質のエッチャー/アッシャー装置です。光学システムは最高精度のために設計されており、精密なエッチング作業のための正確なアライメントと再現性を可能にします。Rainbow 4420 Asherは最大8つのウェーハキャリア用に設計されており、ユニットにロードして間隔とスループットを最適化できます。高性能Ultraviolet Laserは、エッチングプロセスの制御を強化し、正確で一貫したエッチング結果を保証します。このマシンはまた、プロセス揮発性有機化合物(VOC)のより良い制御のためのデュアル真空チャンバーを備えています。この先進の真空チャンバ技術は、一貫したエッチング能力とスループットを維持するのに役立ちます。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、特許取得済みのLAM RESEARCH SmartValveテクノロジーを使用して、精密なエッチングプロセス制御を実現しています。この高度なバルブツールは、エッチングガスを管理し、エッチング工程中の流れを制御します。これは、最高レベルの再現性と一貫性を確保するのに役立ちます。その高度な診断資産は、ユーザーに大きな安心感を提供し、リアルタイムでモデルを積極的に監視する機能を提供します。この高度な診断機器は、潜在的な問題やメンテナンスの必要性をユーザーに警告し、重大な損傷が発生する前に予防措置を講じることができます。Rainbow 4420は、高度なオートメーション機能を備えた効率的なエッチャー/アッシャーです。このシステムは、エッチング結果が一貫した再現性を維持するようにプログラムされています。高度なビジョンユニットにより、エッチング抵抗やその他の主要なプロセス特性を迅速(非接触)に測定でき、エラーをすぐに検出でき、必要に応じてプロセス修正が可能です。また、専用のユーザーインターフェイスを通じて、ユーザーはよりスムーズで効率的な操作のためにマシンを制御することができます。LAM RESEARCH Rainbow 4420 Asherは、デュアル真空チャンバー、Ultraviolet Laser、 SmartValve Technologyなどの高度な技術により、精密で信頼性の高いエッチングとアッシングプロセスを一貫して提供できる高度なエッチャー/アッシャツールです。アセットはまた、高度なビジョンモデルとユーザーインターフェイスを通じて、高いレベルの効率、自動化、およびユーザー制御を提供します。
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