中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293601578 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420は、高品質で高精度の微細構造表面を生成するように設計された高精度エッチャー/アッシャーです。これにより、高アスペクト比と優れたアスペクト制御を備えたミリメートル長のナノスケールのサーフェスフィーチャーを生成できます。Rainbow 4420は、1つのチャンバーにドライエッチングと原子層成膜（ALD）の両方を組み合わせる最初のエッチャー/アッシャーであり、ナノスケールレベルで非常に制御可能なデバイス機能を提供します。ユニークで非常に安定したマルチゾーン容量結合プラズマ（CCP）ソースを備えており、幅広い材料の精密で均一なエッチングとパターニングを可能にします。ユーザーはエッチングプロセスを完全に制御し、ナノスケールで最大1：1。5のアスペクト比を達成できます。さらに、優れたマスクフリーエッチング機能と高精度機能作成により、通信やメモリのデバイス、マイクロフィルトレーション、ラボ・オン・チップのディストリビューションなど、さまざまなアプリケーションに最適です。その広い動作範囲はまた、ライフサイエンス、光学、エレクトロニクス、およびマイクロエレクトロニクス市場のさまざまなアプリケーションに適しています。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、リアルタイムのレシピ転送、高スループットのワークフロー、統合された分析、堅牢な安全機能など、さまざまなオプションが用意されています。これは、オーバーヘッドコストを排除しながら、一貫したプロセス性能を確保するように設計されており、ユーザーに素晴らしい価値を提供します。操作が簡単で、高度なユーザーインターフェイスにより、エッチング処理を簡単にプログラムおよび監視できます。レインボー4420は、エントリーレベルの研究から高精度の製造まで、幅広い顧客ニーズに最適なツールです。