中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293595656 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420は、半導体加工に特化したハイエンドプラズマエッチャー/アッシャーです。シリコン、石英、金属など様々な基板のエッチングや洗浄に使用できます。Rainbow 4420は、エッチング用とアッシング用の2つの窒素ガスジェットと、調整可能なRFおよびDCコントローラを備えており、技術者が特定のアプリケーションに必要なエッチングまたは灰の量を正確に制御できます。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、特殊なリアクタントガスを注入してエッチングの均一性を向上させる洗練されたガス注入装置も備えています。Rainbow 4420には独立したデュアルチャンバー操作があり、各チャンバーで同時または個別の処理が可能です。これにより、プロセスの均一性と生産性がさらに向上します。LAM RESEARCH Rainbow 4420はまた、チャンバー全体に均一なプラズマエッチングまたは灰を提供する大容量のチャンバーを提供します。さらに、予熱機能により、ユニット全体で均一な処理条件を確保する前にシステムを予熱することができます。Rainbow 4420は、等方性と異方性の両方のプロセスを実行することができます。等方性エッチングは、基板の上下両側からの方向性エッチングを特徴とします。これにより、エッチングのサイドウォール角度プロファイルが改善され、臨界寸法（CD）制御に影響を与えることなく高アスペクト比エッチングが可能になります。異方性プロセスでは、基板の片側からの方向エッチングが特長で、角度の高い壁面プロファイルとCDコントロールの改善が可能です。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、高度な制御と監視機能も多数備えています。技術者は、リアルタイムでエッチングまたは灰プロセスを監視および調整することができます。ユーザーが一定期間にわたってプロセスのパラメータを保存してレビューできる追加のデータ収集機能があります。このデータを使用してプロセスを最適化し、可変性を低減することができます。要するに、Rainbow 4420は、シリコン、石英、金属などのさまざまな材料をエッチングするために使用できる、洗練された高精度のプラズマエッチャー/アッシャー機です。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、各プロセスがスムーズかつ効率的に実行されるようにするために、さまざまな最先端の機能を備えています。また、各バッチの精度と一貫性を確保するための高度な制御および監視機能も提供します。