中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293595155 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420は、ウェーハ加工用途向けに開発された高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、優れたプロセス能力を提供し、優れた表面仕上げとエッチプロファイルの精度を可能にします。オンボードコンピュータの助けを借りて、Rainbow 4420は精度と再現性の高い均一性で1時間あたり最大600ウェーハを処理することができます。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、全鋼フレームで設計されており、放射状の振動に対する優れた保護と、すべての植物パラメータを正確に校正および調整できるさまざまな動作を提供します。これにより、高密度ウエハを加工しても精度と再現性が保証されます。デュアルビームレーザーセル設計により、2つのウェーハを同時にエッチングできるため、スループット効率が向上し、コストを削減できます。Rainbow 4420には、4軸動作能力と高速ベアリングを備えた高度なモーションコントロールが組み込まれており、エッチプロファイルの優れた精度と再現性をユーザーに提供します。効率的な排気ユニットを備えており、安全な動作を確保し、ウェハ汚染の可能性を排除します。メンテナンスモニタリングマシンは、適切な是正措置がタイムリーに取られるように、ユーザーに問題を自動的に検出して警告するために提供されます。LAM RESEARCH Rainbow 4420には、一貫した再現性のあるエンドポイント精度を実現する業界をリードするエンドポイント制御ツールも搭載されています。この資産は、シードまたはマスクされたウェーハだけでなく、アルミニウム、銅、チタンなどの様々な金属に対して適切なエッチング制限を迅速に決定することができます。RAIS（共鳴音響イメージングモデル）も装置に組み込まれ、処理後に各ウェーハダイを現場で検査し、プロセスの均一性を検証します。Rainbow 4420の高度なレーザーマーキングシステムは、ウェーハトラッキングを可能にし、外部識別ステップを追加する必要がないため、コストとラボ時間を大幅に削減できます。最後に、ユニットはイーサネットを介してリモートマシンの制御位置に接続され、ユーザーにさまざまなモニターと制御能力を提供します。これらの機能により、拡張されたプロセス監視、特定のパラメータ調整、および包括的なトラブルシューティングのためのリモート診断およびデータ収集が可能になります。