中古 LAM RESEARCH Rainbow 4420 #293592003 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4420は、ドライエッチングとウェットエッチングの両方に市場をリードする機能を提供する多機能エッチング/アッシュプラットフォームです。最適なプロセス性能を提供するように設計されたこの装置は、最大4インチのウェーハに対応できるフライス盤を備えており、生産プロセスに最適です。さらに、プログラマブルロボットアームを搭載し、正確な部品処理を可能にし、高速かつ正確なヘッド位置決めを可能にする高度なモーションユニットを備え、究極の再現性を実現しています。Rainbow 4420プラットフォームには、実証済みのQuartzベースのRIE/RIB-POSTハイブリッド制御プラットフォームが搭載されており、エッチングと灰の両方の技術に対して堅牢でユーザーフレンドリーな制御を提供します。このマシンには、エッチングとアッシュプロセスの両方に対応する電源が内蔵されており、最大8個のエッチングとアッシュプリプロセスのレシピが可能です。これらのレシピは、異なるプロセス要件に対応するために微調整することができ、レシピの簡単な統合とカスタマイズを可能にします。LAM RESEARCH Rainbow 4420は、フライス加工機能に加えて、高度なウエハハンドリング、ピッチ補正、レーザーアブレーション機能、1つのジョブ内で複数のウエハーを実行できるトランジェントモードなど、多くの革新的な機能を提供します。さらに、このツールの高度なソフトウェアは、レシピパラメータの自動調整とリアルタイムプロセスモニタリングを提供し、一貫した高品質のパフォーマンスを保証します。Rainbow 4420プラットフォームは、半導体製造およびフォトマスク製造プロセスに最適であり、統合されたドライエッチング技術により、スループットの向上、品質の向上、およびユニットあたりの低コストを実現します。このプラットフォームは、エッチング/灰アプリケーションに業界をリードする技術を提供することが認められており、マイクロエレクトロニクスやメディア業界の幅広い製品の生産、研究開発に適しています。