中古 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9364650 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4400Bは、さまざまな業界で精密プラズマエッチングとアッシングプロセスを実行するように設計された信頼性の高い信頼性の高いプラズマエッチャーです。これは、850°Cまでの温度で基板を前処理およびエッチングする機能を備えた単一のウェハツールであり、10nmまでのサイズを備えています。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 Bは、優れた均一性と高スループット機能を備えたビームラインカソード装置、高度な柔軟なレシピ、直感的なユーザーインターフェイスを備えた比類のないエッチング性能を提供します。Rainbow 4400Bには、作業ガス、ガス圧力、ガス速度、パルス幅、パルス反復周波数など、各プロセスに合わせて調整できる幅広い設定可能なエッチングパラメータが装備されています。このツールはまた、高いイオンエネルギーと一貫したエッチング速度を維持するためのユニークなプラズマ制御アルゴリズムを誇っています。また、プロセスの変動を検出および調整できる完全自動測定システムを備えており、最高レベルの処理精度と再現性を保証します。RAINBOW 4400 Bは、高いプロセス精度と再現性に加えて、高速で簡単なセットアップ、メンテナンスされたサポートマシン、交換可能な部品など、ユニットの稼働時間を最大化するように設計された機能を提供します。また、基板エッチングの品質とプロセスの安定性を常に監視する敏感な光学モニタリングツールなど、組み込みの安全機能も備えています。LAM RESEARCH Rainbow 4400Bは、ガス組成と安全限界調整のための独立したアラーム制限を備えたプログラム可能な排気資産を提供することにより、安全性を保証します。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 Bは、優れたエッチング性能、プロセス精度と再現性、最大限のモデル稼働時間を提供する信頼性と信頼性の高いプラズマエッチャーで、さまざまな業界のエッチングおよび加工アプリケーションに最適です。