中古 LAM RESEARCH Rainbow 4400B #9169550 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4400Bは、高精度のアプリケーション向けに設計された高度で汎用性の高いエッチャー/アッシャーシステムです。高度な線形RF/DC/TiBプラズマソースを備え、高いスループットで優れたエッチング結果を生成します。半導体ウェーハ、マイクロ流体、MEMSおよび関連デバイス製造の分野において、精密かつ再現性のある結果を保証するさまざまなプロセスパラメータと機能を提供します。LAM RESEARCH RAINBOW 4400 Bは、ディープエッチングまたはプロファイルエッチングが必要な幅広いエッチング用途向けに設計されています。最新のハイパワー技術を活用して歩留まりを最大化し、サイクルタイムを短縮し、製品歩留まりを改善します。その線形RF/DC/TiBの源に6kWピーク電力の評価、300°Cまでの工作物の温度および180°C。までの温度較差があります。Rainbow 4400Bは、高度なプラズマ源と結合した独自の非透明セラミック基板サセプターを使用して、さまざまな誘電体、金属、ポリマー、ガラス基板を確実にエッチングします。その高度な制御と安全システムは、ユーザーとエッチングパターンの完全性を保護します。反応イオンエッチング（RIE）、非反応イオンエッチング（NRIE）、誘導結合プラズマ（ICP）エッチングおよびアッシングなど、複数の自動化プロセスをサポートしています。マルチレベルプロファイルが可能で、形状や形状などのさまざまなプロセス結果を生成できます。さらに、RAINBOW 4400 Bは、その効率を高めるための高度な機能とアクセサリーの広範な範囲を提供しています。これらには、プログラム可能な真空およびガス配送システム、プロセス最適化のための統合ワークステーション、プロファイル結果をキャプチャおよび検証するための自動測定システムが含まれます。このシステムは、サードパーティ製のプロセスコントローラやソフトウェアアプリケーションとも互換性があります。高精度、汎用性、高度な機能を備えたLAM RESEARCH Rainbow 4400Bは、幅広いエッチング用途で優れた性能と信頼性の高い結果を提供します。半導体、MEMS、その他の部品の製造において、優れたエッチング結果を求める方に最適なソリューションです。