中古 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9402502 を販売中

LAM RESEARCHレインボー4400エッチャー/アッシャーは、シリコン、SiGe、およびその他の材料を含むさまざまな基板を処理するように設計されたシングルウェーハ、パラレルプレートのエッチャー/アッシャーです。Rainbow 4400は、プラズマ源とガス源の両方の濃度と流れを厳密に制御して、ウェーハにプラズマと反応ガスを正確に供給します。このプロセス装置は、MOSFET、 MEMS、 ICなどの構造物のコスト効率の高い高度なエッチングを可能にします。LAM RESEARCH Rainbow 4400には、2つの独立したプラズマ源のための2つの8インチウェルズと、反応ガスを独立して制御するための4つのポートが装備されています。最大5kWの電源を備えており、様々なプラズマ化学物質に対応できるように構成可能です。RFとDCが利用可能で、最大周波数は13。56 MHzです。Rainbow 4400は、5x10-5 Torrの真空レベルで提供できます。LAM RESEARCH Rainbow 4400は、プラズマを精密に制御し、一貫したエッチング/アッシング結果を実現します。完全に自動化または手動操作が可能で、お客様のニーズに合わせた柔軟性を実現します。さらに、Rainbow 4400は特許取得済みの低粒子で高スループットのAerosol Quartz®ウェーハハンドリングコンポーネントで設計されており、繰り返し処理が可能です。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 4400は、さまざまな材料加工に対応する信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。結果は一貫しており、繰り返し可能であり、価格は競争力があります。エッチングパラメータに対する高度な制御により、MOSFET、 MEMS、およびICの処理を改善できます。さらに、エアロゾルクォーツウェーハハンドリングコンポーネントは、複雑なシステムの汚染のリスクを低減します。