中古 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9226087 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4400は、高度なIC製造およびパッケージングアプリケーション向けに設計された高性能エッチャー/アッシャーです。Rainbow 4400は、二酸化ケイ素、窒化ケイ素、ポリイミド、ポリシリケート、ポリアミンなどのエッチングおよびアッシャー材料を含む幅広いプロセス機能を提供します。高スループット、高温プラットフォームと低kVガリウムイオンビームを組み合わせ、精密な異方性エッチングを実現します。LAM RESEARCH Rainbow 4400は、ロードロック、プロセスチャンバー、ロードステーション、メインフレームで構成されています。ロードロックは、チャンバを減圧することなく、プロセスチャンバへの基板の積み下ろしを可能にします。プロセスチャンバーはターボ分子ポンプによって排出され、より高いスループットとより速いサイクルタイムを可能にします。ロードステーションは基板を保持し、エッチング中に基板の高さを調整するために使用されるエレベーターのセットを持っています。メインフレームには、プロセス環境を作成および維持するために使用される電源、無線周波数（RF）発電機、および真空装置が収容されています。Rainbow 4400は、幅広いプロセスレシピでエッチング、アッシング、または両方を実行するように設定できる汎用性の高いシステムです。また、基板の高アスペクト比エッチングや深度プロファイリングにも使用できます。このユニットは、最大8インチの直径の基板に対応でき、2Dおよび3Dエッチングの両方のアプリケーションに使用できます。また、最大800°Cの温度に達することができ、金属層エッチングに使用することができます。LAM RESEARCH Rainbow 4400は、簡単なセットアップとレシピパラメータの最適化を可能にする高度なユーザーインターフェイスを備えています。また、真空レベルやポンプ速度など、すべての機械パラメータをリアルタイムで表示できます。リモート診断とメンテナンス機能により、LAM RESEARCHカスタマーサービスチームによるリモートサービスとサポートが可能です。高度なエッチング機能に加えて、Rainbow 4400は統合された光学制御ツールも提供しています。このアセットは、ユーザーがリアルタイムでエッチングプロファイルを監視できるようにすることで、エッチングプロセスを最適化するのに役立ちます。これにより、エッチングパラメータが適切に調整され、理想的な結果が得られます。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 4400は、高度なIC製造およびパッケージングアプリケーションに最適な幅広い機能を備えた強力なエッチャー/アッシャーモデルです。ハイスループットの高温プラットフォームにより、精密な異方性エッチングが可能になり、高度な光学制御装置はエッチング処理を最適化するのに役立ちます。さらに、簡単なセットアップ、システムパラメータのリアルタイム表示、リモート診断およびメンテナンスソリューションにより、信頼性の高いプロセス結果を実現および維持できます。