中古 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #9030525 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4400は、半導体ウェーハ製造業界のニーズに合わせて設計されたエッチング/アッシャーツールです。Rainbow 4400は、精密で信頼性の高いエッチングプロセスを提供するように設計された幅広い機能を提供します。このツールは、プロセス要件の全範囲に対応するためにさまざまなエッチング速度を提供します。このツールは、誘電体、金属、ポリマー、および酸化物を精密にエッチングするために使用できます。LAM RESEARCH Rainbow 4400はデュアルシャワーヘッド設計を採用し、プロセスの柔軟性を高めています。デュアルシャワーヘッドデザインは、低圧および高圧機能を備えているため、エッチング速度が高く、エッジ制御が向上します。エッチャーはまた、エッチングプロセスのパルス変調を可能にし、製品品質を向上させるためのプロセス温度を下げることができるマルチパルスエッチング機能を提供しています。Rainbow 4400には、エッチングプロセスとその結果をリアルタイムで監視するオンボードのパーティクルカウンターが装備されています。パーティクルカウンタはフィードバック制御ループに統合され、最高のプロセス均一性を実現します。また、このツールは、視覚的な結果を表示するためのインターフェイスを提供し、アクセシビリティを強化するためにリモートで操作することができます。LAM RESEARCH Rainbow 4400も安全性を考慮して設計されています。このツールは、環境、プロセス、およびソフトウェアの安全機能を含む完全に統合された安全システムを提供します。このツールは、最新の安全要件を満たすように設計されており、ULおよびCE規格に認定されています。これにより、オペレータは自信を持ってツールのプロセスを安全に利用することができます。Rainbow 4400は、精密で信頼性の高いプロセス機能を提供するように設計されたエッチャー/アッシャーです。このツールは、高いエッチング速度、改善されたエッジ制御、マルチパルスエッチング、統合されたパーティクルカウンタ、およびリアルタイムモニタリングを提供します。このツールは、完全に統合された安全システム、ULおよびCE規格の認定、および遠隔操作機能も提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4400は、今日の半導体ウェーハ製造業界向けに多彩なエッチングソリューションを提供しています。