中古 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #293814660 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4400は、基板および薄膜材料の高度な加工用に構築された生産クラスのエッチング/アッシャー装置です。この動的機械は、シリコンなどのIII-V化合物から金属、セラミックス、その他の誘電体まで、さまざまな基板を処理するように設計されています。エッチング、薄膜成膜、ウェット処理など、クリーンな環境でさまざまなプロセス結果をもたらすように設計されています。この高度な技術は、研究および生産業務に柔軟性と拡張性を提供します。レインボー4400には、エッチング用のデュアルソースプラズマ源、エッチングと蒸着の両方に対応する複数のガス供給システム、粒子発生を最小限に抑えるための精密ウェハハンドリングなど、さまざまなプロセス技術が搭載されています。このシステムはまた、高度なチャンバー避難ユニットを備えており、迅速なプロセス変更とプロセスの再現性の向上を可能にします。LAM RESEARCH Rainbow 4400は、高分解能スポット形状、正確かつ反復可能な線量オーバーフィールド、低総イオン爆撃ノイズなどの高度なイオンビームイメージング機能により、高度な基板パターニングが可能です。Rainbow 4400は、最先端の電子制御マシンと包括的なソフトウェアスイートを備えています。この制御ツールにより、プロセスチャンバーとの完全な統合が可能になり、オペレータは複数のプロセスチャンバーを同時に管理することができます。ソフトウェアスイートにより、ユーザーはレシピをカスタマイズでき、高度なデータロギング機能を提供してプロセスの最適化を高めます。LAM RESEARCH Rainbow 4400の主な特徴は、独自のデュアルソースプラズマソースであり、エッチングと蒸着プロセスを同時に実行できます。このプロセスにより、エッチングと蒸着チャンバ間の基板移動に時間を要する必要がなくなり、高いプロセス柔軟性を実現できます。このアセットはまた、さまざまな基板温度制御機能を提供し、敏感なプロセスの温度プロファイルを正確に制御できます。最後に、Rainbow 4400は、自動チャンバーの避難、火災検知、ESD保護などの高度な安全機能を提供します。このモデルは、高度なチャンバー設計、強力なろ過装置、およびオンボードの安全インターロックにより、粒子生成とチャンバー清浄度の業界標準を提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4400は、高度なエッチングおよび成膜プロセスに不可欠なツールです。洗練された設計、堅牢な制御機能、最先端の安全機能により、Rainbow 4400は高いレベルのスループット、再現性、柔軟性を提供します。