中古 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #293595657 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4400は、幅広い材料の優れたプロセス能力を備えた高度なエッチャー/アッシャーです。ガラスからGaAsまで。アクセスしやすい負荷/アンロードアクセスベイと、低温動作のための絶縁真空チャンバーを備えています。チャンバーは、2つの統合された、個別に設定可能な高出力多周波数ソースと3つの反応源パネルをサポートしており、幅広い材料の低温加工を可能にします。厚膜からシリコンウェーハまで。装置の統合されたガス供給システムと高度なプロセス制御機能により、すべてのエッチングおよびアッシングプロセスパラメータを正確に制御できます。Rainbow 4400は、強力なデータベースサーバーを使用してすべてのプロセスレシピを管理し、最高レベルの再現性と再現性、エラーと警告防止を保証します。データベースサーバーには、あらかじめ定義されたレシピステップもいくつか含まれているため、ユーザー設定と機密プロセスパラメータの手動設定の必要性が制限されます。LAM RESEARCH Rainbow 4400は、バイポーラRFジェネレータ、850 MHz RFジェネレータ、13。56 MHz RFジェネレータ、6。78 MHz RFジェネレータなど、多くの先進的なRFジェネレータを利用しています。これらのジェネレータは、20MHz〜1GHzの範囲の周波数を提供することができ、パルス変調、位相制御、およびバイファース技術を提供してプロセス性能を最適化することができます。また、高度な制御機能を備えており、精密なプロセス制御を可能にし、プロセスガス、基板温度、RFパワーレベルの制御を可能にします。Rainbow 4400は、さまざまなレベルの自動化を提供することにより、プロセス要件の変更に迅速に適応するように設計されています。自動化された基質のローディングおよび荷を下すモジュールは、自動化された端点検出機械とともに、必要な手動介入の量を最小にするのを助けます；効率的で反復可能な生産を確保します。人間工学に基づいた設計は、ユーザーに適切な安全性と快適性を保証し、メンテナンスのための簡単なアクセシビリティを提供します。LAM RESEARCHは、オンラインテクニカルサポート、包括的なマニュアル、製品ドキュメント、オペレータトレーニング、継続的なメンテナンスプログラムなど、LAM RESEARCH Rainbow 4400の包括的なサービスとサポートオプションを提供しています。クリーンルームおよび製造環境で動作するRainbow 4400は、優れたレベルのプロセス制御と信頼性を提供し、幅広い生産、研究、開発アプリケーションに最適です。