中古 LAM RESEARCH Rainbow 4400 #130808 を販売中
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LAM RESEARCH Rainbow 4400は、ウェーハおよびダイレベル処理の両方のニーズを満たすように設計されたエッチング/アッシャー装置です。このシステムは、ブランケットや異方性エッチング、スパッタリング、レジストストリップなどのアプリケーションに正確で効率的なプロセス手順を提供する、低コストで高性能なさまざまな機能を提供します。このユニットは、最新のマルチゾーンプロセス技術を使用して、エッチングおよびアッシングプロセス全体の一貫性を保証する自動プロセスチャンバーを備えています。このチャンバーは、ウェーハ表面全体に均一な温度とプロセス制御を提供するように設計されており、反復可能で一貫した結果を保証します。Rainbow 4400はまた、従来のマシンの最大2倍のスループットで、高スループットエッチング/灰の機能を提供します。加工時間を大幅に短縮し、高品質な製品を迅速に生産することができます。印象的な機能に加えて、LAM RESEARCH Rainbow 4400は、SEMI(半導体装置および材料国際)S-120およびS-133規格を含む複数の業界標準およびプロセスに準拠しています。このツールの柔軟性により、アセットのデータベースからさまざまなプロセスを選択できるため、効率が向上します。Rainbow 4400は、さまざまなアプリケーションに最適な効率を提供するように設計されています。このモデルには、設定可能な高電圧電源、多次元プロセス制御、および自動圧力および温度制御が装備されています。これにより、結果の最高品質と再現性が保証されます。LAM RESEARCH Rainbow 4400の高度なソフトウェアには、オンライン診断および障害解析、ならびに火力および電力管理機能が含まれています。この機器は使いやすいグラフィカルユーザーインターフェイスと直感的な手動制御で使いやすいです。このソフトウェアには、標準のLC/TE (Layer Count/Thickness Error)カーブのライブラリも含まれており、レシピを迅速に設定および調整できます。Rainbow 4400 etch/ashシステムは、お客様のウェーハおよびダイレベルの処理ニーズに柔軟かつ費用対効果の高いソリューションを提供します。LAM RESEARCH Rainbow 4400は、高性能マルチゾーン技術、低コストかつ高スループット機能、豊富なプロセス制御、高度な診断ソフトウェアにより、予算に応じて信頼性の高い結果を必要とするユーザーに包括的なソリューションを提供します。
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