中古 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169568 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4000シリーズは、最も複雑なウェーハ処理アプリケーションのニーズを満たすように設計された高度なエッチャー/アッシャー装置です。このシステムは、安定したパフォーマンスを提供しながら、任意のアプリケーションに適応するように設計されたモジュラープラットフォームを備えています。ユニークなアーキテクチャにより、最大3つのモジュールを追加して拡張性と汎用性を高めることができます。Rainbow 4000シリーズは、温度と圧力の両方を正確に制御する熱結合エッチングおよびアッシング機能を提供するCrystal Front Target Assembly （CFTA）を搭載しています。さらに、このマシンは信頼性の高い媒体から大量生産のために設計されており、高度なモーションコントロールによりウェーハ表面全体の均一性と再現性を保証します。LAM RESEARCH Rainbow 4000シリーズは、1。75kWのRFジェネレータを2基搭載し、エッチングに1分間に最大6回のウェーハサイクルを実現し、スループットを向上させます。さらに、このツールは、プロセスパラメータとウェーハ特性に適応するオンボードコンテキストに敏感なソフトウェアを使用して、モジュールの適切な統合と操作の簡素化を保証します。Rainbow 4000シリーズは、温度、圧力、RF電力、アッシャー時間、エッチング時間などのパラメータを正確に制御できます。自動化されたパラメーター制御により、基板表面全体に均一なウェーハを提供するのに理想的です。LAM RESEARCH Rainbow 4000シリーズは、ウェーハの取り扱いと搬送を容易にするために、統合されたウェーハ搬送モデルで設計されています。フォーカスチャンバー、ウェーハハンドラ、レシーバチャンバーを組み合わせたフレキシブルウェーハハンドリングシステムです。このメカニズムは、広範囲のウエハサイズと形状、および片面および両面ウエハに対応できます。ロボティックエンドエフェクターを最適化し、信頼性の高いハンドリングと正確なウェーハ位置決めを実現します。クリーンルームの操作には、レインボー4000シリーズは振動減衰特性を備えたコンパクトで頑丈なフレーム上に構築されています。このプラットフォームは、詳細認識、直感的なタッチスクリーンインターフェイス、信頼性の高いネットワーキング、および機械のメンテナンス機能などの機能を通じて簡単に操作できるように設計されています。操作中の安全性を確保するために、このツールには過熱、過圧、および電磁干渉保護を含む一連の安全機能が装備されています。LAM RESEARCH Rainbow 4000シリーズは、高精度、再現性、信頼性を実現するエッチングおよびアッシング用途に最適なツールです。マルチタスク機能とモジュラー設計により、この資産は市場で最も先進的なエッチャー/アッシャーシステムの1つです。