中古 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169566 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4000シリーズは、最新の半導体デバイスの厳しい要求を満たすように設計されたエッチャー/アッシャーです。4000シリーズは、半導体産業のために特別に設計された専用の電気化学蒸着/エッチング装置です。完全に自動化されたモジュラー設計により、効率的な運用と生産における最大限の柔軟性を実現します。このシステムは、ドライエッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、プラズマエッチング（PIE）、大気圧ケミカルエッチング（APCE）など、複数のエッチング技術を利用しています。このユニットは、半導体基板に精密成膜とエッチングを提供するように特別に設計されています。Rainbow 4000シリーズは、最先端のプロセス制御および監視機能を使用して、一貫して高品質のエッチング結果を提供します。シリコン、絶縁体シリコン（SOI）、ポリシリコンなど幅広い基板に対応可能です。これは高度に構成可能であり、さまざまなエッチングレシピが特定のプロセス要件を満たすことができます。主にプロセスにRF電源を使用しますが、マイクロ波および直流（DC）電源とも互換性があります。LAM RESEARCH Rainbow 4000シリーズは、エッチングと蒸着の両方を必要とする複雑なエッチング処理が可能です。例えば、デバイスの表面に相互接続に使用される金属接点などを形成するために使用できます。トリミング、ファインパターニング、キャビティ形成プロセスなど、他の一般的なエッチング用途にも最適です。Rainbow 4000シリーズには、人員と機器の両方を保護するために設計されたいくつかの安全機能があります。プロセスエラーと暴走状態がすぐに認識され対処されるように、広範なインターロックおよび保護手順を使用します。このマシンはまた、プロセスレシピのための包括的なデータベースとリモート監視と制御のためのリモートターミナルを備えています。4000シリーズは、多くのシンプルさと利便性の対策で設計されています。高速ロボティクスとプログラマビリティにより、迅速なセットアップ、メンテナンスコストの削減、スループットの向上を実現します。また、このツールは独自の低電圧電源を備えており、一般的にエッチングおよび蒸着プロセスに関連する成果物を低減します。全体として、LAM RESEARCH Rainbow 4000シリーズは、最新の半導体デバイスのニーズの多くを満たす高度なエッチャー/アッシャーです。精密なエッチングと成膜結果を提供し、幅広い基板に対応し、包括的なモニタリングと保護機能により安全性を確保します。直感的な設計とユーザーフレンドリーな操作により、半導体業界にとって理想的なエッチングソリューションです。