中古 LAM RESEARCH Rainbow 4000 Series #9169565 を販売中

LAM RESEARCH Rainbow 4000シリーズは、半導体デバイス製造用に設計された先進的なプラズマエッチャー/アッシャーです。この装置は、シリコンウェーハなどの先端材料を高精度にパターニングするための高精度で制御可能なエッチング処理を提供します。金属、ポリシリコン、二酸化ケイ素、石英、窒化物、誘電材料のエッチングに適しています。このシステムは、独立したプラズマやエッチガス密度などの高度な機能と、高級ガス供給機構を備えています。その統合された処理制御ソフトウェアは、精密レシピとin-situ光学エンドポイント検出をサポートしています。Rainbow 4000シリーズには、プロセスチャンバーに均一なプラズマを作成するマルチソース、高出力の誘導結合プラズマ（ICP）ソースが装備されています。密度と電力を正確に制御し、高密度プラズマを生成することができます。プラズマ発電機は、急速なターンオンとターンオフのサイクルで最大25kWの電力を供給することができ、高いエッチング速度を実現します。高密度プラズマは、非常に低い酸素ベアリング種を必要とするプロセスにも適しています。Rainbow 4000は、制御性の高いガス供給ユニットも採用しています。この機械は5つまでの異なったガスを同時に渡すことができます。エッチングプロセスに応じて、3つのエッチング種、エッチング深度変動を最小限に抑えるためのパッシベーションガス、副産物を除去するパージガスを含むことができます。柔らかい開いたおよび近い流れ制御は一定したエッチング部屋圧力および均一エッチングの均等性を保障します。このツールには、正確で反復可能なプロセス結果を得るための高度なコントローラも装備されています。Rainbow 4000システムは、エッチングプロセスの終了を監視するために、その場でエンドポイント検出を提供します。このアセットでは、エッチプロセスのエンドポイントを自動的に調整することで、エッチングの均一性を向上させる「ソフトランディング」機能も使用しています。統合されたレシピの最適化と管理モデルは、安定した再現可能なプロセスを維持するのに役立ちます。高度な機能に加えて、LAM RESEARCH Rainbow 4000シリーズエッチャー/アッシャーは、特許取得済みの高効率HEDPガスヒーターを使用して、熱管理を改善します。また、LAM RESEARCHグローバルサービスネットワークは、世界中でテクニカルサポートとインストールサービスを提供しています。Rainbow 4000シリーズは、高度なエッチングおよびアッシャープロセスに最適なソリューションです。