中古 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9412757 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、最も要求の厳しいアプリケーションを念頭に設計された高度なエッチング/アッシング装置です。ONTRAK TCP 9400 SEは、特許取得済みの3チャンバークローズドループプロセスに基づいたパルスプラズマ源です。革新的なオンボードオートメーションシステムは、プロセス制御ソフトウェアと組み合わせて、信頼性の高いプロセスツールを可能にします。このエッチング/アッシングユニットは、10ミリワットから500ミリワットまでの広い動作ウィンドウを備えています。塩素、フッ素、二酸化炭素など様々なガスをサポートしています。調節可能なエッチングレートと可変パルス非対称性を組み合わせることで、幅広いエッチング/アッシュプロセスに最適です。この機械はまた、エッジ損傷、マスクの浸食、アークの漂流などの従来のエッチング・システムに関連する問題を排除するのに役立つ特許取得済みの収束ゾーン・チャンバーを使用しています。LAM RESEARCH TCP 9400 SEは、高いスループットと生産性を実現するよう設計されています。オープンアーキテクチャは、材料、プロセス、機能の最適化を可能にします。このツールはまた、複数のレシピをサポートし、優れた再現性を提供します。LCDタッチスクリーンとグラフィカルジョブエディタを備えた直感的な産業用ユーザーインターフェイスを備えています。インテリジェントなリアルタイムプロセス調整ツールにより、数分でレシピを最適化できます。また、問題になる前にモデルの問題を検出する自動ウェハレベルの診断アセットも含まれています。TCP 9400 SEには、ソーラーパネルやチャンバーの漏れを検出するレーザーなどの高度な安全機能があります。また、EFEM互換性を備えており、自動システムに統合することができます。装置に小さい足跡があり、取付け、維持することを容易にします。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、エッチング/灰プロセスを含む幅広い先進技術を開発するための強力なソリューションです。高精度パターニング、接触開口、デバイス分離、マスク補修などの用途に最適です。このシステムは、優れた再現性とプロセス制御を備えた、最先端のエッチング/アッシングユニットを必要とするお客様に最適です。