中古 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9223304 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、幅広い業界のさまざまな材料の重要なエッチングおよびアッシング操作を実行できるエッチャー/アッシャーです。そのユニークなデザインは、費用対効果と拡張性のために構築されており、さまざまなアプリケーションに使用することができます。高速ウェーハ搬送装置を搭載し、プロセスの再現性を維持しながら、高圧、低圧、エッチング、アッシング動作を迅速にサイクルすることができます。消耗品の使用量を削減し、高スループット機能を備えたONTRAK TCP 9400 SEは、最大のパフォーマンスとプロセス制御を実現します。LAM RESEARCH TCP 9400 SEの中心は、セラミック封止型プラズマチャンバー設計です。この機能は、最適な熱伝達とプロセスガスの安全で効率的な使用のために設計されました。セラミックチャンバーは、高速かつ再現性のあるエッチング動作を保証するために、高い温度均一性を保持します。エッチング性能をさらに最適化するために、このマシンはプロセス圧力監視を統合しており、微調整を可能にし、一貫性を確保します。再現性と精度を確保するため、TCP 9400 SEには特許取得済みのフィードバック制御システム（FCS）が組み込まれています。FCSは、ウェーハ上のフィラメント電圧プロファイルを監視して動作し、プリセット条件に応じてプロセス圧力と時間を自動的に調整します。これにより、エッチング処理中にウエハプロパティが変化した場合、ユニットはプロセス制御を取り戻すことができます。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEには、デジタルプロセス記録機もあります。このツールは、各エッチングサイクル中にすべてのプロセスパラメータを保存するため、処理される各ウェハの正確なプロセスパラメータを再作成できます。さらに、データベースに格納されているプロセス変数により、必要に応じて統計的なプロセス制御とプロセス改善が可能になります。プロセスレシピソフトウェアを使用すると、マシンはさまざまなウェーハタイプの複数のレシピを保存し、自動的に実行できます。また、バッチ平均データとプロセス関連情報を保存することもできます。これにより、品質管理と品質保証を目的としたエッチングログの保存、レビュー、エクスポートが容易になります。最後に、ONTRAK TCP 9400 SEは使いやすさとメンテナンスのために設計されています。操作が簡単な大型フロントパネルディスプレイを備えており、操作が簡単に行えます。メンテナンスのために、すべての重要なコンポーネントは機械の外側から簡単にアクセスできます。LAM RESEARCH TCP 9400 SEは、エッチングとアッシングのプロセスで生産性と効率を高めたい人に最適な汎用性、信頼性、信頼性の高い機械です。