中古 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9181362 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、半導体製造のために設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。これは、正確で反復可能なエッチングと灰プロセスのためのシングルエンドの3軸メカニカルモーション機器を提供しています。ONTRAK TCP 9400 SEは、従来の円形エッチングシステムよりも大きなオープンエリアファクタ（OAF）エッチングを実現し、必要な再コーティングの数を削減できます。LAM RESEARCH TCP 9400 SEは、最大2ミクロンのエッチングを行うことができ、150mmから300mmまでのさまざまなウェーハサイズを正確にエッチングできます。TCP 9400 SEはONTRAK独自のMatchMotionテクノロジーを使用しています。MatchMotionテクノロジーは、エッチング中に3軸すべてを調整し、ずれを排除し、頻繁な再調整の必要性を低減するソフトウェアシステムです。このユニットはまた、PatchMotionテクノロジーを使用して、特定のアプリケーション向けにプログラムされた最適化されたエッチングを作成します。また、半導体デバイス製造のスループットを最大化するために、MaskAdaptアルゴリズムと互換性があります。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、半導体製造において重要なエッチングプロセスを正確に制御することができます。このマシンはクローズドループのフィードバックツールを使用して、エッチングが正確であることを保証し、複数のバッチにわたって再現可能な結果が得られます。このアセットには、エッチング中に欠陥を検出できるリアルタイム光学検査機能も含まれており、直ちに修正することができます。さらに、ONTRAK TCP 9400 SEは、さまざまなエッチングおよび灰プロセスのためにさまざまな圧力、温度、およびプロセス化学物質に設定可能です。精度と精度に加えて、LAM RESEARCH TCP 9400 SEは最大限の効率と利便性を目指して設計されています。このモデルの自動化されたカセット・ツー・カセット機能により、手動で操作することなく複数のウェーハを処理できます。また、作業エリアを有害な発煙から解放するための統合排気装置も備えています。さらに、システムには複数のダイ構成が装備されており、メンテナンスとユニットの最適化を容易にするための診断ツールの完全なスイートが付属しています。結論として、TCP 9400 SEは半導体製造のために設計された信頼性が高く汎用性の高いエッチャー/アッシャーです。これは、精密で再現可能なエッチングとアッシングプロセスを可能にするシングルエンドの3軸モーションマシンを提供しています。また、MatchMotionおよびPatchMotionテクノロジー、MaskAdaptアルゴリズム、光学検査、自動カセットからカセットまでの機能、診断ツールの完全なスイートなどの機能も含まれています。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、半導体デバイス製造に最適なソリューションです。