中古 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9169593 を販売中

LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE
ID: 9169593
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1994
Etchers, 8" 1994 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、透過・反射技術を駆使し、薄膜材料の高信頼処理を実現するエッチャー/アッシャーです。先進的な光学設計により、イメージングおよび加工用途向けのサブミクロン分解能で優れた性能を提供します。この装置は、10ミクロンの正確な位置決め精度で最大3つのサンプルを同時にエッチング/アッシングすることができます。ONTRAK TCP 9400 SEは、単一のエッチングステップで、穴あけ、ルーティング、スクライビング、パターニングなどの個別のプロセスを実行できます。このエッチャー/アッシャーには500ワットのソースが装備されており、厚くて薄いフィルム堆積物のための正確な無断溶接とパターン化を可能にします。さらに、装置はリアルタイムのフィードバックループを利用してエッチング/アッシュレートを監視します。LAM RESEARCH TCP 9400 SEは、その優れた均一性と精度のため、表面実装装置(SMD)の修復/再作業アプリケーションにも使用できます。このシステムは、材料のエッチング/灰の処理を最適化するために、長方形、三角形、ガンマガウスなどの複数のレシピモードを提供します。TCP 9400 SEには、機器とそのオペレータを保護しながら危険のない環境を提供する安全ユニットが内蔵されています。これには、緊急停止機能、過熱条件に対する保護、およびアクセス制御システムが含まれます。中央制御ソフトウェアは装置およびプロセスのための完全な制御/監視機能を提供します。さらに、サンプルの安全なグリップを確保するために、装置には3ポイントクランプ機が装備されています。その移植性と高速処理時間は、多くのアプリケーションにとって有用なツールになります。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、ステンレス、銅、アルミニウム、チタン、ニッケルなど、幅広い材料を扱うことができます。エッチング/アッシングプロセスにおいて、高精度で信頼性の高い精度を必要とするユーザーに最適です。
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