中古 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9134003 を販売中
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販売された
ID: 9134003
ウェーハサイズ: 4"-12"
Etcher, 4"-12"
Oxide
Flat wafers
ESC chuck
(1) Chamber
GAS NO GAS NAME MAKER MODEL FULL SCALE
1 02 TYLAN FC-2950MEP5 200SCCM
2 02 TYLAN FC-2950MEP5 10SCCM
3 N2 TYLAN FC-2950MEP5 10SCCM
4 SF6 TYLAN FC-2950MEP5 50SCCM
5 HBR TYLAN FC-2950MEP5 200SCCM
6 CF4 AERA FC-D980C 500SCCM
7 CL2 AERA FC-D980C 200SCCM
8 70%HE+30%O2 AERA FC-D980C 20SCCM
9 HE UNITY 8100Seris 50SCCM
BOARD BOX:
CPU
ADIO#5
ADIO#7
ADIO#8
ADIO#9
ADIO#11
ADIO#13
SERIAL
PRESSURE:
LOCATION MAKE MODEL
CHAMBER CM MKS
TURNEL MKS 625A11TDE
FORLINE MKS 625A11TDE
BACK HE TYLAN CMLA-21
RF GENERATOR MACHER
TOP AE RFDS 1250 R-KIT
BOTTOM AE RFG 1250 MINI
PUMP:
SEIKO SEIKI H2002C
SEIKO SEIKI STP-H200C
PRESSURE CONTROL:
VAT 65048-PH52-ABU2
VAT PM-7
FUNCTION CHECK:
INDEX MOVING
SHUTTLE MOVING
ARM MOVING
PRESSER CONTROL
GAS FLOW TEST
GAP MOVING
RF ON/OFF
ESC ON/OFF
AUTO RUNING TEST.
LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEはセミオートエッチャーとアッシャーです。これは、エッチング、アッシング、沈着プロセスの広い範囲のために設計されたシングルウェーハ装置です。それは独立した流れおよび温度調整が付いている2つのガス室を、それぞれ特色にします。また、ウェーハの正確な位置決めのための自動基板センタリングシステムと、湿式および乾式の両方のプロセスを1回の実行で実行する機能を備えています。このユニットには、高性能なPCベースの制御機と使いやすいWindows™スタイルのソフトウェアインターフェイスが装備されています。プログラマブルなプロセスレシピは、プロセスセットアップ機能、最大20のユーザー定義プロセス用のデータストレージ、および豊富なパラメーターを備えた柔軟なプロセス制御を提供します。このツールには、ユーザーがプロセスデータをすばやく表示して問題を特定できるモニタストリップチャートも含まれています。ONTRAK TCP 9400 SEは、シリコンウェーハ、フォトリソグラフィーマスク、石英、セラミックなどの幅広い基板に対応できます。ウェーハチャンバーは、最大400mm、 200mm、および150mmの円形基板に対応できます。また、アルミニウム、ポリシリコン、チタン、シリコンなど、さまざまなエッチングとアッシング反応を提供しています。このモデルには、最大限の保護のための統合された安全インターロック装置が含まれています。また、エッチング工程での熱損傷を防止するためのFCS （Fast Cooling Subsystem）も含まれています。このシステムは、幅広いエッチングおよびアッシング用途に優れた性能を提供します。その高性能コントローラとソフトウェアは、自動化された処理を迅速かつ簡単にします。このユニットはまた、オペレータと基板の両方に優れた安全機能と保護を提供します。これらのすべての機能により、LAM RESEARCH TCP 9400 SEはプロセスエンジニアに最適です。
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