中古 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #9099538 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、半導体材料の加工用の高性能エッチャー/アッシャーです。このツールは、最高レベルの精度と再現性を提供するように設計されており、ユーザーはデバイス製造プロセスで最高の歩留まりと歩留まりを達成することができます。ONTRAK TCP 9400 SEは、高度でプログラマブルなレーザーベースの機器を備えており、材料除去特性を正確に保証し、望ましいデバイス特性を実現します。エッチング用の高出力アルゴンレーザーとアッシング用の低出力レーザーを搭載しており、材料エッチングと表面アッシングの両方に適しています。レーザーシステムには、精密アブレーション用の洗練されたクローズドループ制御ユニットと、アブレーションパターンを最適化するスキャニングマシンが搭載されています。このマシンはまた、蒸着プロセスでより高いレベルの精度のためのマルチチャンバーチャンバースパッタ源を提供しています。このスパッタソースには、アルミニウム、銅、チタンなどの様々な先進材料が搭載されており、ユーザーのアプリケーションに基づいて可能な限り最高の機能と性能を提供します。また、エッチングプロセスとアッシングプロセスの間でチャンバーを連続洗浄するための完全自動洗浄ツールも含まれています。マルチステッププロセスでは自動高速シャッタがサポートされます。LAM RESEARCH TCP 9400 SE etcher/asherには、ウェーハ管理アセットが統合されており、ユーザーはマシンを完全に自動化または手動モードで使用できます。このモデルでは、ウェーハトラッキングと製品トラッキング機能も提供しています。また、ウェーハや基板の手動積み降ろしを可能にする先進的なマテリアルハンドリング装置を搭載しています。システムの安全性と信頼性の観点から、TCP 9400 SEには高度なインターロックユニットと緊急時にプロセス全体をシャットダウンする緊急シャットダウンマシンが付属しています。また、タッチスクリーンユーザーインターフェイスと専用のレシピ管理を備えており、使いやすく便利です。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、最も要求の厳しいアプリケーション向けに設計された先進的な半導体エッチャー/アッシャーです。高精度で再現性の高い制御システムにより、ユーザーは最高レベルのデバイス歩留まりとプロセスの再現性を保証します。その安全性とユーザーインターフェイス機能により、最新の半導体製造用の高信頼性でユーザーフレンドリーなツールとなります。