中古 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #293587268 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、今日の半導体生産設備のニーズに対応するように設計された完全自動エッチャー/アッシャーです。フォトマスクやその他の材料の精密エッチングとアッシングを、効率的かつ段階的に提供します。ONTRAK TCP 9400 SEは、さまざまな材料を処理することができ、マスクのサイズと形状に柔軟性を提供します。1層、2層、または3層のエッチング機能を含む8種類のマスク構成を提供し、アライメント用のパターン認識機能を搭載しています。また、精密温度制御と信頼性の高い統合プロセスオートメーションシステムも提供しています。LAM RESEARCH TCP 9400 SEは、すべての表面から汚染物質を除去することを主目的に、高度なエッチングおよびアッシング技術を使用しています。エッチング工程には液体中に浸漬した振動電極を利用し、アッシング工程にはプラズマトーチ付きの加熱炉チャンバーを使用します。エッチング電極は最適なエッチングを達成するために位置を調整することができ、トーチは2000°Cまでの温度に達して素材を急速にエッチングすることができます。TCP 9400 SEは、異なるコントローラと測定器の組み合わせを使用して、エッチングおよびアッシングパラメータを事前設定された限界内で維持することができます。温度センサ、位置センサ、圧力トランスデューサ、流量計を使用して、エッチングおよびアッシングプロセスのすべての要素を監視し、精度と一貫性を確保します。LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEには、グラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）、ユーザー定義のプロシージャルオートメーション、データロギングなど、包括的なソフトウェアとハードウェアの強化が装備されています。GUIを使用すると、プロセスステップを簡単に定義できます。ユーザー定義のプロシージャルオートメーションを使用すると、自動化されたプロセスステップを変更して操作をカスタマイズできます。データログは結果を格納し、トレンドを表示し、プロセス情報を保存するために使用できます。ONTRAK TCP 9400 SEは、大量処理に最適で、安全性と品質保証システムを内蔵した耐久性のあるフレーム構造を備えています。それは証明されるセリウムであり、一貫した、信頼できる性能を保障する最も厳しい国際規格を満たします。