中古 LAM RESEARCH / ONTRAK TCP 9400 SE #196518 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK TCP 9400 SEは、基板エッチング用途向けのコンパクトで高性能なドライインプレースエッチングソリューションです。厚さ4mmまでの基板加工が可能で、高度なソフトウェア制御システムにより、プロセスパラメータの高精度制御と再現性を実現しています。高速サイクルタイムと高度なプロセス制御を組み合わせたONTRAK TCP 9400 SEは、基板エッチングと加工に最適です。このユニットには、2つの別の貯水池から酸素と塩素の両方を供給できるガス供給機が装備されています。ガスデリバリーツールは、エッチングプロセス中に基板に一貫したガスの流れを提供するように設計されています。さらに、アセットは、より高いパフォーマンスを提供するために簡単にアップグレードできるように設計されています。LAM RESEARCH TCP 9400 SEは、2つの独立して調整可能な温度制御プロセスチャックを備えており、スループットを向上させるために、異なる基板を並列にエッチングすることができます。基板を均一に加熱するためのホットプレートも用意されており、フルファンクションリモートアクセスキーパッドにより、モデルを簡単に操作できます。さらに、この装置には、プロセスサイクル時間中に正確な温度制御を提供するための統合冷却パッケージが含まれています。このシステムには、精密プロセス用のエッチングプローブ、ピンセット、ラッピングツールなど、さまざまな統合アクセサリとツールが付属しています。単位からのデータ出力は視覚的およびプログラム可能なフォーマットで提供され、プロセス変数の容易な分析そして制御を可能にします。さらに、高速クローズドループ制御により、高速サイクルタイム機能を提供します。TCP 9400 SEは、幅広い基板エッチング用途向けの信頼性と汎用性の高いエッチングソリューションです。その高性能と精密制御により、ユーザーの効率とスループットを向上させることができます。さらに、高度なソフトウェアと統合されたアクセサリにより、エッチングプロセスへの容易なアクセスと制御が可能です。