中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358696 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、幅広い用途向けの高性能エッチャーおよびアッシャーです。オペレータはスループットを最大化し、ダウンタイムを最小限に抑えることができます。これは、重要なエッチングと灰の操作のための高解像度と均一な処理を提供します。このシステムは、高度なパルスDCプラズマ技術を使用しており、エッチングおよび灰プロセスを正確に制御できます。自動基板ウェハハンドリングやリアルタイム監視、プロセスパラメータの制御など、高度な自動化と安全オプションを備えています。高度な制御機能により、インラインプラズマ表面の変更にも使用できます。この機械は、エッチング、灰、エッチング/灰/クリーン、エッチング/灰/クリーン/エッチング、クリーニングなど、幅広いプロセスを提供します。正または負のフォトレジストアプリケーションの両方を処理できます。特許取得済みのEメカニズムは、エッチング速度が高く、均一性が高く、ほとんどのエッチング用途に低ラウンドエンドプロファイルを提供します。ONTRAK Kiyo 45は、プラテンシールド加工用の統合ガスボックス、最適化された堆積/エッチング性能、およびeフィールドの均一性を備えています。それに小さい足跡があり、処理の間にチャックの優秀な分離を提供するために二重チャックカバーが装備されています。LAM RESEARCH Kiyo 45は、高度な制御装置により、温度、圧力、および圧力曲率応答などの他の重要なパラメータのプロセス監視および監視を提供します。安全性を高めるために、RFのオン/オフスイッチ、機械的アクセス用のインターロックスイッチ、絶縁チャンバー、拡張可能な緊急停止ツールなど、複数の内蔵安全機能を備えています。この資産には、統合されたリモート監視および制御モデル、リフロー機能、酸素/窒素発生器などの追加機能も含まれています。Kiyo 45は他のONTRAK製品と互換性があるように設計されており、オペレータに優れたプラットフォームを提供します。LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、その汎用性と堅牢な機能により、幅広いエッチング/灰オペレーションに最適です。