中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358695 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、超微細な微細構造の量産用に設計された強力なエッチングおよびアッシング装置です。ONTRAK Kiyo 45は、最先端のエッチングとアッシング技術を活用し、非常に高い精度と微細な解像度を実現します。また、温度範囲が低くメンテナンスが容易なため、幅広い産業用プロセスでの使用に適しています。LAM RESEARCH Kiyo 45は、シリコン、窒化物、二酸化ケイ素、アルミニウムなどの材料の高精度で均一な層の厚さを提供することができます。このシステムは、バッチ処理モードとシングルウェーハ処理モードの両方で動作可能であり、非常に高いレベルの材料除去でも信頼性の高いエッチング処理を提供します。エッチングとアッシングは、CF4またはSF6のいずれかの選択されたエッチングガスの反応によって強く駆動され、使いやすいシングルウェハモード動作用に設計されています。ユニークなデザインのキヨ45は、バッチ処理に非常に効率的なさまざまな機能を組み込んでいます。オープンエンドのユニットにより、基板へのアクセスが容易になり、優れたエッジ定義を備えた熱安定性、精密性、均一なエッチングが得られます。さらに、このマシンはマルチソースのプラズマを使用しており、他のシステムよりも高速で均一な活性ガスに変換することができます。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、非常に高いスループットでも高速で再現性のある信頼性の高い結果を提供する機能も備えています。ONTRAK Kiyo 45もメンテナンスが容易で比較的少ないように設計されています。LAM RESEARCH Kiyo 45は、簡単な開放チャンバー、ガスや供給用の自動補充プログラム、信頼性と精度の高いin situマスフローコントローラなどの機能を備え、工具の効率的な稼働を容易にします。結論として、Kiyo 45は、マイクロストラクチャーの量産用に設計された強力なエッチングおよびアッシング資産です。非常に高いスループットでも精密なエッチングとアッシングを実現し、高い精度と解像度を実現します。さらに、メンテナンスが容易で低メンテナンスのために設計されているため、工業加工やその他の多くのプロセスに最適です。