中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9358668 を販売中

LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、スタンドアロンおよび自動ウェットエッチングシステムのKiyoシリーズの一部であるエッチャー/アッシャーです。この精密微細加工装置は0。75 μ mまで特徴を作成するのに使用され、高度な研究開発および実験室の適用の必要性を満たすように設計されています。このシステムは、幅広いエッチング範囲と信頼性の高い性能を備えた高精度エッチングを提供し、シリコン、サファイア、石英、ポリマーなどの材料を取り扱うことができます。ONTRAK Kiyo 45ユニットは、ゼロフラックス絶縁チャンバを使用して、エッチングのためのチャンバー内の高度に制御された化学環境を作成します。このチャンバーは、静的環境を維持し、エッチング中の汚染への曝露を最小限に抑えるように設計されています。LAM RESEARCH Kiyo 45は、温度を安定させ、化学廃棄物を削減するための循環ループも備えています。また、デジタル温度制御と独立した温度・化学濃度モニタリング機能を備えた再循環プロセスタンク、自動ウェーハ・ボートカセット搭載機を搭載しています。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は最大4インチウェーハに対応可能で、エッチング速度は最大4 μ m/minです。このツールには、エッチングプロセスを簡単にカスタマイズできるプログラム可能なレシピアセットが装備されており、自動タイミングタイマーとポンプコントロールモデルがあり、繰り返しエッチング操作が可能です。コントローラには、ディスプレイを備えたオペレータインターフェイスと、エッチングプロセスの開発と最適化のためのさまざまな制御オプションも備えています。ONTRAK Kiyo 45は取付け、作動し易く、正確で、反復可能なエッチングの結果を提供します。これは、信頼性と効率的に動作するように設計されており、化学薬品と電力の消費が少ない。LAM RESEARCH Kiyo 45はまた、微細加工研究に理想的なプラットフォームを提供し、既存の研究施設に容易に統合され、プロセスの迅速な開発とパフォーマンスの向上を可能にします。