中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9351456 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、反応性イオンエッチングを使用して各種材料の精密エッチングを小規模に行うエッチング/アッシャー装置です。小型で軽量なため、携帯性と柔軟性が最も重要なベンチトップアプリケーションに最適です。このシステムは低圧RF/DCハイブリッドエッチングチャンバーを採用しており、サイズは8 「x10」までの範囲の材料をエッチングできます。ONTRAK Kiyo 45には25,000ワットのRF発電機があり、金属、非金属膜、任意の厚さの誘電材料を含むエッチング材料に十分な電力を供給します。ハイブリッドコントロールユニットは、エッチング条件を正確に最適化し、基板全体にわたって非常に均一なエッチング特性が得られるようにします。このマシンは、セットアップ処理を簡素化する自動基板ローディング/アンロード機能を備えています。また、エッチングチャンバーを必要な圧力に素早く排出する自動ターボポンプも備えています。このプロセスは5分未満で達成されます。LAM RESEARCH Kiyo 45は、エッチング作業時の安全性を確保する高度な安全機能も備えています。これらの安全機能には、RFシールドキャビネット、自動ガスシャットオフバルブ、作動圧力を超えた場合の可聴アラーム、および過圧状態を処理するためのガス回収ツールが含まれます。結論として、Kiyo 45は、ポータビリティと柔軟性が最も重要な小規模エッチングおよびアッシング操作に最適です。強力なRFジェネレータ、自動基板ローディング/アンロード機能、および市場で最も安全でユーザーフレンドリーなシステムの1つになるさまざまな安全機能を備えています。