中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9351382 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、優れたエッチングとアッシング性能を提供するために設計された革新的なエッチャー/アッシャーです。この装置は、多段シェル炉を使用して、最大200nm/minのエッチング速度と最大40nm/minのアッシング速度を効果的に達成します。コンパクトなデザインと直感的なユーザーインターフェースにより、ウェーハの製作、パターン除去、RIE、 MEMSデバイスなどのさまざまなタスクに最適です。ONTRAK Kiyo 45は、高密度プラズマと低圧動作を提供する高度なマグネトロン源を備えています。これにより、エッチングおよびアッシング操作の歩留まりと再現性が向上します。また、エッチャー/アッシャーはクローズループ電源制御システムにより、プロセスウィンドウが改善され、反復可能な結果が得られます。6インチから12インチまでのウェーハサイズの幅広いオプションを備えており、簡単で効率的な生産のために最大12のレシピスロットに構成することができます。LAM RESEARCH Kiyo 45は、さまざまなプロセス要件を満たす多目的な機能を備えた信頼性の高い、費用対効果の高いエッチャー/アッシャーです。直感的なユーザーインターフェイスと高度なフロー制御により、簡単で効果的なプロセス最適化が可能です。データロギングユニットは、プロセスデータを記録するのに役立ち、迅速な問題解決とトラブルシューティングを可能にします。さらに、モジュラー設計とオープンアーキテクチャにより、即座にコンポーネントを簡単に追加および削除できます。安全のため、Kiyo 45は堅牢なインターロックで設計されており、ユーザーやプロセスツールを害から保護します。ユニットのチャンバーは密閉され、密閉フランジで汚染を軽減するために通気されます。エッチャー/アッシャーには、完全な電気機械保護のための統合安全回路もあります。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、さまざまなプロセス要求に対応しながら、繰り返し可能な結果を提供する優れたエッチング/アッシュツールです。これは、運用効率と歩留まりを確保するのに役立つ信頼性の高い費用対効果の高いツールです。多段シェルリアクター、効率的な設計、堅牢な安全機能を備えたONTRAK Kiyo 45は、幅広いエッチングとアッシングのニーズに最適です。