中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9314593 を販売中

LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45
ID: 9314593
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
System, 12" 2010 vintage.
LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、超高速・超高精度半導体加工のために設計されたエッチャー/アッシャーです。これは、最大40ミリメートルの30ミリメートルまでエッチングまたは灰を可能にするインライン、シングルパス機器です。このシステムには、エッチャー/アッシャーの最高のスループットと精度を実現する高速スマートソースジェネレータレーザーが搭載されています。ONTRAK Kiyo 45は、さまざまなデバイスサイズと基板を正確にエッチングおよびアッシュするように設定できるフィールド設定可能なツーリングステージを備えています。このユニットのアクティブビームアライメントにより、最高レベルの精度とプロセスの再現性が保証されます。また、セルフロックツーリングマシンと統合されたプロセス制御ツールが付属しています。LAM RESEARCH Kiyo 45は、最大300のジョブを自動的にスケジュールして処理できる自動バッチ機能を提供します。このアセットは、プロセスの再現性やプログラム可能なエッチング時間などの拡張プロセス制御機能も提供します。さらに、このモデルにはジョブ転送とリモートプロセス制御のための通信インターフェイスが装備されています。Kiyo 45は、連結されたガード、可聴アラーム、安全のための反射バックチャンバーなど、さまざまな安全機能を備えています。振動を排除する6軸モーションコントロールシステムと、正確かつ再現性の高い位置決めを実現する超精密なガルバノメータユニットを備えています。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、ハイスループットと精度のための高度な技術で構築された業界をリードするエッチャー/アッシャーです。このマシンはさまざまな機能を備えており、小型基板加工からマルチデバイス製造までのアプリケーションに適しています。高度なプロセス制御ツールと直感的なユーザーインターフェースを備えたONTRAK Kiyo 45は、幅広い半導体加工ニーズに最適なソリューションです。
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