中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9314592 を販売中

LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、半導体加工に使用されるエッチャー/アッシャー装置です。エッチング、アッシング、フォトレジスト除去ができるように設計された汎用性の高いシステムです。このユニットは、3つの処理チャンバーを備えた傾斜型のマシンで、それぞれがさまざまなタスクを実行するために使用できます。マシンには、クリーンベイサポートツール、ウェットプロセスモジュール、ドライプロセスモジュールがあります。クリーンベイサポート資産は、環境から汚染することなくウェーハを処理するように設計されています。これは、脱イオン水、Class-100空気ろ過、イオンインプランター、および半導体ロボットを使用して、粉塵粒子を発生させることなく、チャンバーを介してウェーハを素早く移動させることによって行われます。ONTRAK Kiyo 45モデルのウェットプロセスモジュールは、さまざまなウェットエッチングとウェットアッシングを行うことができます。これは、高速ポンプ、高圧供給装置、地上断層保護システム、バルブクラスタを組み込むことで可能になります。LAM RESEARCH Kiyo 45のドライプロセスモジュールは、マルチエッチング、アッシング、クリーニング手順を行うように設計されています。それは3つの独立したヒーターを含んでいます、それぞれは異なったプロセスのための異なった温度を維持するのに使用することができます。このユニットには、チャンバー間でウェーハを素早く転送するための高速ロボットも含まれています。Kiyo 45マシンは使いやすく、メンテナンスを最小限に抑える必要があります。それは耐久性および信頼性のための高級なステンレス鋼材料から組み立てられます。ツールのコントロールとインターフェイスは直感的で、プロセスをできるだけ効率的にするように設計されています。このアセットには、最大の結果を得るために細かく調整できる幅広い処理パラメータも含まれています。これは、すべての業界標準と安全ガイドラインを満たすように設計されています。全体として、LAMLAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は半導体加工のために設計された堅牢なエッチャー/アッシャーモデルです。品質を損なうことなく、さまざまなエッチングとアッシング手順を実行できる効率的で汎用性の高い機器です。また、細かく調整可能なパラメータと直感的な制御システムにより、極めて高精度な結果を得ることができます。このユニットは、信頼性の高い効率的なエッチャー/アッシャーマシンを探している半導体メーカーに最適です。