中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9299367 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、高品質で信頼性の高い半導体デバイス構造の製造用に設計された高効率で汎用性の高いバッチエッチャー/アッシャーです。ONTRAK Kiyo 45は、複雑なデバイス形状を生成するために特別に設計されたユニークで高度なエッチング機能を提供し、最先端の半導体デバイスの製造を可能にします。LAM RESEARCH Kiyo 45は、100kVのVmax出力電流と最大30nm/minのエッチング速度を生成できる電源を搭載しています。この電源は、より正確なエッチングとコンフォーマルマスクのための制御可能なマスクギャップと線量パラメータも提供します。高度なチャンバーとコイル設計により、エッチングパターンの均一性が向上し、粗さが最小限に抑えられます。キヨ45は、最大120mmウェーハのより大きなチャンバーサイズ、大容量AC、 109秒までの延長ドウェルタイムも備えています。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、自動モーター式ロードロックとロボットウェーハ転送システムとタッチスクリーンオペレータインタフェースを組み合わせ、効率的なウェーハの取り扱いと簡単な操作を可能にします。さらに、オペレータインターフェイスは、ウェーハ位置とエッチング状態のリアルタイムフィードバックも提供します。高度なノズル制御により、広いビーム角を可能にし、エッチングの均一性を高め、解像度を向上させ、先端損傷やドリフトのリスクを低減します。ONTRAK Kiyo 45は、小型クリーンルーム、薄型自動ガスフロー制御システム、および有害ガス漏れを防止するための真空安全バルブを内蔵し、高純度かつ安全性を提供します。クリーンインプレイスとパージングシステムも提供され、異物からのウェーハ汚染を排除します。Kiyo 55もRoHSに準拠しており、さらなる安全性と環境へのメリットを提供します。LAM RESEARCH Kiyo 45は、ハイエンド半導体製造の精密エッチャー/アッシャーです。自動化されたロードロック、エッチングパターンの均一性の向上、長期滞留時間の延長、高い安全性と純度など、さまざまな高度な機能を提供します。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、最先端の半導体構造やデバイスを最高レベルの信頼性と精度で製造するのに最適なデバイスです。