中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #9281381 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、直径45mmまでのウェーハをエッチングできるホットワイヤー技術を搭載したバレルエッチャーです。この装置には940リットルのチャンバーが装備されており、幅広い材料を簡単かつ効率的に処理することができます。このチャンバーには、統合されたウェーハローディングシステムが装備されており、最大12個のウェーハを一度に自動配置することができます。ONTRAK Kiyo 45は、温度、圧力、流量などのプロセス変数を高度に制御することにより、小型ウェーハや大型ウェーハの高精度エッチングを実現します。このユニットには自動テンションコントロールマシンが装備されており、エッチング工程中にウェーハを所定の位置に保持することができます。さらに、エッチングサイクルを正確にプログラムすることができ、エッチング速度と表面仕上げを正確に制御できます。エッチングプロセスは真空で行われ、エッチング結果の最高の精度と清潔さを可能にします。また、裏面ヒーターを装備しており、ウェーハ裏面の温度を制御し、両面の均一なエッチングを実現します。LAM RESEARCH Kiyo 45には、エッチング雰囲気を監視する活性酸素センサーや緊急遮断バルブなど、さまざまな高度な安全機能が搭載されています。さらに、廃ガスや化学薬品を削減するために設計されているため、エネルギー効率が高く、環境に優しい資産です。エッチングサービスに加え、コーティング、メタライズ、加熱加工など、さまざまなサービスにも対応しています。モデルの柔軟性により、多くの製造および研究アプリケーションに最適です。