中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293652871 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、幅広い材料の加工用に設計されたアッシャー/エッチャーです。直感的な自動制御システム、最大500mmの基板加工が可能な高度なソース/ターゲットチャンバー、および精密処理のための高度なデジタルメトロロジーを備えています。特許取得済みのSensor Fusion Technologyを使用した高度なデジタルメトロロジーパッケージは、レシピのパラメータを正確さと再現性に自動調整します。ONTRAK Kiyo 45は、最大500mmまでの基板と幅広い化学製品に対応できる高度なソース/ターゲットチャンバーを備えています。また、プロセスの状態をリアルタイムで継続的に評価するプロセスウィンドウ監視パッケージが装備されており、プロセス制御システム（PCS）は、再現性と品質を向上させるために、タスクパラメータを自動的に調整します。小型真空、遠隔真空、温度均一性などの高度なガス流量制御アクセサリのアドオンパッケージを使用して、プロセス性能をさらに最適化することができます。LAM RESEARCH Kiyo 45は、業界トップクラスの精度と再現性を実現します。高度な材料互換性とプロセス制御機能により、技術的に困難な材料や基板のエッチング速度を最適化できます。幅広いエッチングケミストリーをサポートしているため、あらゆるエッチング用途に使用できます。さらに、自動化されたエンドポイント検出機能により、エッチングエンドポイントの迅速な検出と、より一貫した歩留まりを実現します。Kiyo 45は、稼働時間と運用効率を最大限に高めるために設計されています。革新的な低メンテナンス設計により、メンテナンスのためのダウンタイムを最小限に抑えながら、部品の迅速かつ簡単な洗浄を可能にします。さらに、高度な計測スイートにより、ユーザーはプロセス結果を迅速に評価し、校正やレシピ調整の必要性を最小限に抑えることができます。全体として、LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、幅広い材料に対応できるように設計された強力で信頼性の高いエッチャー/アッシャーです。その先進的で直感的な制御システム、幅広い化学製品、プロセスウィンドウ監視、革新的な低メンテナンス設計により、精密処理と運用効率の向上に最適です。