中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589654 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAKキヨ45は高度なエッチャー/アッシャーです。優れた性能、低コストのウェーハ、および信頼性の高いエッチング/アッシングプロセスを提供します。ONTRAK Kiyo 45は、直径2インチから8インチまでのエッチング/アッシングが可能な高速マルチゾーンエッチング/アッシュです。デュアルゾーンチャンバーと大きなプロセスチャンバーを備えており、高いスループットと低サイクルタイムを実現しています。デュアルゾーンチャンバーは、高精度で一貫したエッチング/アッシングパラメータを提供します。LAM RESEARCH Kiyo 45は、高度なプロセス制御機能を提供します。プロセスチャンバーにウェーハを移動するプログラム可能な伸縮コンベアを装備しています。このコンベアは、さまざまな位置にウェーハを移動および保持するようにプログラムすることができ、エッチング/灰の正確かつ再現可能な位置決めを可能にします。また、石英、ポリシリコン、シリコン、金属、誘電体など多種多様な基材を使用しています。950°Cまでのプロセス温度と170 torrまでの圧力をサポートします。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、バッチ処理とシングルウェーハ処理の両方が可能です。リモートプロセス監視機能を備えているため、ユーザーはリモートからプロセスの進捗状況を監視できます。ONTRAK Kiyo 45は、真空プロセス圧力制御、クローズドループ室温調節、クローズドループプロセス化学制御も備えています。最先端のカラーグラフィックユーザーインターフェイスとオプションのWindowsコンピュータコントローラを備えています。LAM RESEARCH Kiyo 45は最高の信頼性を目指して設計されており、包括的な保証に裏打ちされています。その設計は高度のプロセス統合に基づいています、容易な維持および操作を可能にします。また、高度な診断機能を備えているため、迅速かつ正確なトラブルシューティングが可能です。全体として、Kiyo 45は強力で信頼性が高く、費用対効果の高いエッチャー/アッシャーであり、幅広いプロセスに優れた性能と付加価値を提供します。