中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589530 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、業界リーダーのONTRAKが製造する洗練されたエッチャー/アッシャー装置です。洗練されたアルゴンプラズマ技術を採用し、半導体ウェーハの精密エッチングとアッシングを可能にします。ONTRAK Kiyo 45の特許取得済みの設計は、RF発電機、ターボポンプ、デジタル電子コントローラなどの高度な電子機械部品を使用して、優れた精度と再現性で望ましい基板材料を処理します。ユーザーインターフェイスは直感的でユーザーフレンドリーで、オペレータはエッチングやアッシングパラメータ、プロセスレシピなどの変数を迅速かつ簡単に選択し、システムのパフォーマンスをリアルタイムで監視できます。LAM RESEARCH Kiyo 45のプラズマ源は、優れたエネルギー効率を特徴とし、基板全体にわたって優れたエッチング率と均一性を提供します。RFジェネレータは堅牢で、高品質のエッチングプロセスのための非常に小さなエネルギー損失で最大15kWの供給が可能です。サーマルマネジメントユニットをKiyo 45と一体化し、大型エッチング/アッシュワークロードでの迅速なターンアラウンドタイムを実現します。このマシンは、大規模なエッチング/灰ボリュームワークロード中に最大6°Cのウェーハ温度上昇を低減することが証明されています。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、LAM RESEARCH Clarioプラットフォームを搭載しており、高度なレシピ開発と深いトレーサビリティの精度により、データセキュリティとコンプライアンスを確保します。レシピとプロセスのチャンバーの幅広いプロセスは、基材と望ましいパラメータが何であれ、ONTRAK Kiyo 45が提供できるように設計されています。LAM RESEARCH Kiyo 45は、信頼性の高い強力なエッチャー/アッシャーツールです。研究開発から量産まで、MEMSデバイスから先進半導体製品まで、幅広いエッチングおよびアッシング用途に適しています。比類のない精度、性能、信頼性を誇るキヨ45は、材料加工に最適です。