中古 LAM RESEARCH / ONTRAK Kiyo 45 #293589472 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、シリコン、窒化物、石英、ガラスなどの材料のハイエンド加工用に設計された先進的なエッチャー/アッシャーです。フル機能のプロセスチャンバーは、長方形の石英板とより大きなターンテーブルで設計されており、ウェーハのユーザー制御による位置決めが可能です。この機械は18インチまで材料サイズの広い範囲をエッチングし、ashingことができます。プロセスチャンバー、ウェーハトランスポート、ロボットオートメーションシステムなど、幅広いプロセス機能を備えています。ONTRAK Kiyo 45は、TCPロードロックと高度なプラズマエッチング処理機能を備えた完全互換のプロセスツールです。また、独立した制御装置を備えており、特定のアプリケーションのニーズを満たすためにシステムパラメータをカスタマイズすることができます。セラミック発射素子を使用し、ウェーハ加工に精密な温度制御を提供します。複数のエッチングおよびアッシングプロセスをサポートし、生産出力と品質管理を向上させます。LAM RESEARCH Kiyo 45は、ウェーハのローディング、搬送、アンロード、プラズマのソース制御を自動化した自動ウェーハハンドリングユニットです。このマシンのプラズマソースは、幅広いエッチングおよびアッシングパラメータを処理することができ、ユーザーはプロセスを簡単にカスタマイズして特定のアプリケーション要件を満たすことができます。また、プロセスパラメータを監視するための高度なマシンを提供し、効率的で安全で再現性のあるプロセスを保証します。Kiyo 45は、プロセスガスや空気中の粒子のクロス汚染を防ぐためのオプションのパージチャンバーを備えています。このツールには、副産物を収集するための強力な排気資産も装備されています。このモデルは手動または自動操作に設定でき、ユーザーは特定のプログラムに最適な処理方法を選択できます。また、高周波発生装置と後処理システムを一体化し、エッチング材料の制御アブレーションも可能です。LAM RESEARCH/ONTRAK Kiyo 45は、幅広い用途に適した高度なエッチャー/アッシャーです。高度なプロセスチャンバー、自動化されたウェーハハンドリング、強力な排気ユニットは、効率的な処理のためのユーザーフレンドリーな環境を提供します。追加されたTCUロードロックとプラズマソースは柔軟性を提供し、高周波ジェネレータ、パージチャンバー、後処理機は精度と再現性を確保し、優れたプロセス結果をもたらします。