中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9312590 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45は、サブミクロンのフィーチャーサイズで高精度の微細構造を生成するように設計されたエッチャー/アッシャーツールです。このツールは、シングルパスで最大5ミル（127。0 μ m）の材料をエッチング/アッシングし、最大12インチ（305。8 mm）のサイズの基板を加工することができます。2つの独立したガス経路を備えており、金属および非金属フィルムおよび合金のエッチングを可能にします。また、± 0。005mm （0。0002インチ）の精度と± 0。001mm （0。00004インチ）の再現性に優れているため、高品質な部品を迅速かつ効率的に製造することができます。エッチャー/アッシャーユニットには、幅広いエッチングプロファイルと均一なエッチングレートを提供するデュアルソースプラズマソースが装備されています。また、15 WのCO2レーザーを搭載しており、レーザーマークを部品に適用でき、高解像度カメラを備えてレーザビームを監視します。ONTRAK 2300 Kiyo45は、高周波（HF）オプションの高度な無線周波数（RF）電源を採用しており、パターンの再現性と生産スループットの向上を実現しています。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45には、カラータッチスクリーンインターフェイス、自動基板認識、プロセス最適化パラメータ、幅広いプロセス設定など、ユーザーフレンドリーな機能が搭載されています。また、正確なID検出とビジョン支援基板アライメントを提供するための高速かつ正確なビジョンシステムを備えています。このツールは、粒子関連の欠陥を低減し、スループットを最大化するように設計されており、お客様の特定のエッチングおよびアッシングのニーズに合わせてカスタマイズすることができます。2300 Kiyo45は、アスペクト比が高く、特徴サイズが小さく、エッチング後の残留物が最小限に抑えられた超微細構造を製造するのに最適で、フラットパネルディスプレイ、航空宇宙部品、医療機器部品などのさまざまな製造アプリケーションに最適です。精密エッチング制御、優れた精度、汎用性を兼ね備えたLAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45は、信頼性の高い精密エッチャー/アッシャーツールをお探しのお客様に最適です。