中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9258553 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45は、ハイエンド半導体加工アプリケーション向けに設計された最先端のエッチャー/アッシャーです。このデバイスは、ドライエッチング、ウェットエッチング、酸化エッチング、プラズマエッチングなど、さまざまなエッチング処理をサポートします。また、塩素ベースのアッシングや窒素ベースのアッシングなどのアッシング操作を実行する機能もあります。Kiyo45は、複雑な半導体エッチングやアッシング作業に非常に適した多くの機能を誇っています。自動化されたプロセス制御には、シーケンスをプログラミングし、すべてのパラメータを正確かつ簡単に制御するための直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス（GUI）が含まれています。また、最適なエッチングとアッシングの結果を得るために、即座にプロセスパラメータを微調整するための迅速な応答を備えた動的制御を備えています。このKiyo45には強力なRFジェネレータが装備されており、大きなウェハ上での均一なエッチングが可能です。独自のホットウォール構成により、ウェーハ表面全体のエッチングの均一性を最適化し、大きなウェーハでもプロセス時間を延長できます。このKiyo45は、高度なMEMSアプリケーションのための深いプラズマトレンチのプラズマエッチングなど、特殊なエッチングプロセスの開発に最適です。その包括的なハードウェアとソフトウェアアップグレードにより、最も困難なプロセス要件を処理することができます。また、高度な安全システムを備えており、究極のプロセス制御と非常に高いレベルの安全性を確保しています。Kiyo45は、今日利用可能な最も人気のあるエッチャーの1つです。エッチングとアッシングの幅広いニーズに対応する、信頼性の高い費用対効果の高いソリューションです。直感的なユーザーインターフェイス、動的制御、パワーRFジェネレータ、ホットウォール構成により、高品質の半導体コンポーネントの製造に最適です。