中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9255637 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45は、集積回路の精密エッチングおよびアッシングに使用されるエッチャー/アッシャー装置です。プロセス開発と自動化された生産アプリケーションの両方のために設計された、信頼性の高い高度なシステムです。ボイディングレベルが非常に低いため、高い均一性を実現できます。このユニットは、2つの電極、ヒーター、コントローラユニット、およびガス噴射機を備えた真空チャンバーで構成されています。ガスインジェクションツールは、高いエッチング率を確保するために使用され、チャンバーにはクリーンエッチング処理を保証する特別なプラズマ洗浄システムが装備されています。部屋は8インチまでウェーハを収容できヒーターは-20°から400+°Cに及ぶことができます。コントローラーユニットは、温度、圧力、ガスの流れ、エッチング時間など、エッチングプロセスのすべてのパラメータを制御することができます。この資産は、シリコン、窒化ケイ素、ポリシリコンなど、さまざまな材料をエッチングすることができます。スルーシリコンビアやTSVをエッチングして3次元集積回路を形成するためにも使用できます。Kiyo45は45nmのエッチング深度と1-200nmのエッチング解像度を備えています。また、10-7 torrから1 torrまでの真空定格もあります。ウエハ全体に均一なエッチングが可能で、再現性に優れています。オプションのプロセス監視装置により、エッチングプロセスのリアルタイムのフィードバックが可能です。また、複数のインターロックエリアや、ユーザーを危険から保護するように設計された特殊なスクラビングシステムなど、複数の安全機能が付属しています。Kiyo45システムは、適用されるすべての環境規制に準拠しているため、環境に優しいユニットでもあります。有害な化学ガスを必要とせず、エッチング中に発生する有害な粒子はすばやく洗い流されます。全体として、ONTRAK 2300 Kiyo45は、集積回路やその他のフォトリソグラフィープロセスの精密エッチングに最適な信頼性と汎用性の高いエッチャー/アッシャーマシンです。プロセス開発と自動化された生産作業の両方に適しており、環境に優しいです。