中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9255632 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45 Etcher/Asherは、精密な処理制御と再現可能な結果を必要とする、アッシャー、エッチング、スパッタ薄膜に使用される汎用性の高い、コンパクトなデュアルチャンバー機器です。このシステムは、エッチングおよびスパッタリング用途のプラズマを生成するために、6インチ、30ミクロンのスロットノズル設計を採用しています。ONTRAK 2300 Kiyo45は、自己閉鎖真空安全ドアと操作のためのユーザーフレンドリーなLCDカラータッチスクリーンを備えた完全自動化されたユニットです。機械はPLC制御され、ユーザーにプロセスのための正確な制御そして反復可能な結果を与えます。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45には、アプリケーションプロセスを正確に制御する2つの独立制御ステップチャンバーが含まれています。各チャンバーは、温度、圧力、およびRF電力を独立して制御することができます。これにより、ユーザーはエッチングとスパッタリングのプロセスを正確に制御し、可能な限り最良の結果を得ることができます。2300 Kiyo45はビーカーにエッチング剤の正確な分配を直接提供する大容量の液体供給用具が装備されています。2ゾーン再循環の液体資産は、温度制御され、個別に加熱することができます。この機能により、エッチングおよびスパッタリングプロセスが正確に実行されます。LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45は、段差チャンバーや液体供給モデルに加え、加工時の熱損傷を防止するための高速RF駆動冷却装置を備えています。このシステムのファン冷却排気ユニットは、すべてのプロセスガスの効率的な避難を可能にします。ONTRAK 2300 Kiyo45には、危険なプロセスガスの吸入を防止する最適な性能のスクラバーも内蔵されています。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45 Etcher/Asherは、エッチングおよび/またはスパッタリングプロセスから正確で反復可能な結果を必要とするユーザーにとって理想的な選択肢です。コンパクトなデザインと使いやすいタッチスクリーンインターフェイスにより、正確な制御と再現可能な結果を要求するエッチングおよびスパッタリングアプリケーションに最適です。