中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Kiyo45 #9241856 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Kiyo45は、最高の製品歩留まりと最低の所有コストを達成するために設計されたアッシャー/エッチャーです。1バッチで最大5種類のウェーハサイズの処理が可能で、処理速度は1時間あたり最大10万個です。このシステムは、改良された新しいミニファンビーム分配源を利用して、優れたビームとビームの均一性を提供します。高速で高効率なエッチングを採用し、30〜150ミクロンの範囲を選択可能です。ONTRAK 2300 Kiyo45は、アプリケーションごとに正確な処理を保証するために、さまざまな設計および処理オプションを提供します。シングルポジションのウェハハンドラをはじめとする高度なウェハハンドリング機能と、エッチングの均一性を維持し、汚染物質への曝露を排除するためにビームの角度を自動的に調整するサブアングルプログラマブルエッチング（SPE）を備えています。また、-30°C〜+150°Cの温度範囲と+7。5°と-10。0°Cのウェーハ傾斜調整角度を備えた基板およびウェーハ温度モニタリングを備えています。LAM RESEARCH 2300 Kiyo45は、オートフィルディスペンスとアライメント、LFキャリア、レシピ管理で高度に自動化されています。また、表面汚染やエッチング後の欠陥の検出を可能にするハイエンドの欠陥検査機能も備えています。また、高性能な3Dウエハマッピング機能を備えており、プロセス歩留まりの向上にも使用できます。2300 Kiyo45は、既存および将来の本番環境に簡単に統合できる汎用性の高い高性能アッシャー/エッチャーソリューションです。これは、高度な安全機能を備えて設計されており、簡単なセットアップと操作のためのオペレータフレンドリーなユーザーインターフェイスを提供します。高度なビームおよびエッチング技術により、一貫した結果と最適化された歩留まりを提供します。