中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9393139 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、フラットおよび大型基板の高速パターニングを可能にするエッチャー/アッシャーです。これは、デバイス製造のための半導体業界で最もよく使用されています。エッチャー/アッシャーは、誘導的に結合されたRFエネルギーと直接書き込み電子ビームエッチングを利用して、さまざまな材料の成膜およびパターン化において高いスループット率を達成します。この装置には、電子レンジ源と薄い酸化物エッチングを行うための2つのプラズマ源も装備されています。また、アルミニウムの厚さ2。5 μ m、酸化アルミニウムの厚さ5 μ mまでの加工が可能です。このユニットのWork-in-ProgressとReel-to-Reelの統合により、高いスループットと電力効率が得られます。また、検査モニターを使用することで、マスクや光学イメージングを必要とせずに、完全プリントされたウェーハを継続的に検査できます。さらに、Exelan Flexは、各プロセスチャンバーへの容易なアクセスを可能にする柔軟なリアクター設計と、堅牢で効率的な処理のための引き込み式トップローディングマシンを備えています。Exelan Flexは、オペレータフレンドリーなPCベースのソフトウェアによって制御されており、ボタンをタッチして各プロセスステップを構成するためのさまざまなツールをユーザーに提供します。定期的な指示とプログラムの実行に加えて、このツールはプロセスパラメータの手動制御とセットアップを可能にし、各チャンバのプロセスステータスをリアルタイムで監視します。また、装置の性能を継続的に監視する多数の自己診断機能も提供します。Exelan Flexは、多くの一般的なCADフォーマットと互換性があり、既存の生産ラインに簡単に統合してプロセス全体を自動化できるモジュラー設計を誇っています。シリコン、ガラス、プラスチック、金属合金など幅広い基板のパターンに適した信頼性と使いやすいエッチャー/アッシャーです。全体として、ONTRAK 2300 Exelan Flexは高度で費用対効果の高いエッチャー/アッシャーであり、高速パターニングと成膜を必要とする半導体業界にとって理想的な選択肢です。