中古 LAM RESEARCH / ONTRAK 2300 Exelan Flex #9283189 を販売中

LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、高解像度、高性能の結果を提供するように設計された高度なエッチング/灰の半導体処理装置です。このシステムは、Flash/FTL/eMMCメモリの小さなフレークから5インチまたは6インチのウェーハまで、幅広い基板を処理できる高度で汎用性の高い技術を備えています。それは優秀なゼロ許容の整列機能の優秀なエッチングおよびフォトアッシュの機能を提供するために複数の先端技術を含んでいます。ONTRAK 2300 Exelan Flexには、異なる目的を果たす2つのチャンバーがあります。上部チャンバーは古典的なエッチングチャンバーであり、プロセスの均一性と性能を最大化するように設計されています。それは連続的な波、RF誘導および下流のプラズマ処理、また低い電力および高い発電によって結合されるプラズマ源を利用します。下段は125mmウェーハのフォトアッシュ処理を容易にし、均一で均一な結果を得ることができます。LAM RESEARCH 2300 Exelan Flexは、高度なオートメーション、内蔵オーブン、オプションのExtended Time Program （ETP）モードを備えているため、使いやすくプログラムできます。ETP機能を使用すると、一連のプロセスを順次実行し、時間を節約して結果を向上させることができます。このユニットには特許取得済みのマルチツール自動クランプ（MAC）マシンもあり、ウェーハの負荷と形状に自動的にエッチングプロセスを構成し、最適な結果とサイクルタイムを保証します。2300 Exelan Flexは信頼でき、非常に多目的で、優秀な性能および結果を提供します。プラズマガスのin-situ監視、牽引点シードの存在、厚さ測定など、複数のプロセス監視機能を備えています。また、高速エッチングのためのフラッシュサイクルアルゴリズム、正確なガス流量制御、および正確で繰り返し可能な結果を保証するための温度制御ツールも含まれています。LAM RESEARCH/ONTRAK 2300 Exelan Flexは、Flash/FTL/eMMCメモリ、または125mmまでの他の基板の製造に最適な信頼性の高い、高度に適応可能なツールです。ONTRAK 2300 Exelan Flexは、高度な技術、オートメーション、パフォーマンス指向の設計により、高い歩留まりと再現性で優れた結果を提供します。